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半导体激光器的光学反馈干涉及传感应用.pdf
第 卷 第 期 中 国 激 光 ，
年 月 ，
文章编号： （ ）
半导体激光器的光学反馈干涉及传感应用
王 鸣 ，聂守平 ，李达成
南京师范大学物理科学与技术学院光电技术江苏省重点实验室，江苏 南京
（ ）
清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室，北京
提要 分析和讨论了激光反馈干涉现象，根据半导体激光器的反馈干涉理论，研究了反馈干涉模型及其信号的调
制和解调方法，介绍了典型的传感应用。理论和实验表明，激光反馈干涉的理论不同于传统干涉，信号处理方法也
有其特点。半导体激光器的光学反馈干涉系统具有结构简单、光路易准直、无需附加器件的特点，因而能够发展成
小型、在线测量和过程控制的传感器，测量距离、位移和速度，在微机械、光学工程等领域具有应用前景。
关键词 光学反馈干涉，半导体激光器，传感应用
中图分类号 文献标识码
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! DePart ment of Physics Nanjing Nor mal unioersity Nanjing Jiangsu #
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State key Laboratory of Precision measuring Technology I nstru ments
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