MEMS可靠性.pptx

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MEMS可靠性

MEMS可靠性; ; ; ;美国喷气推进实验室(JPL)在NASA支持下对MEMS空间应用可靠性进行了广泛研究,发布了MEMS空间应用的可靠性保障指南(MEMS reliability assurance guidelines for space application); 美国桑地亚实验室(SNL)在DARPA支持下,详细研究了MEMS基本单元的可靠性测试结构、试验与失效模式报告(MEMS Reliability:Infrastructure , Test structure ,experiments,and Failure modes);费用使用可靠性整体分析方法,将可靠性问题贯穿于产品开发整个过程中 ; ;浴盆曲线; ; ;释放有关粘附;断裂;延伸的止动侧壁; ;温度、湿度、振动综合作用;可靠性测试系统; ;Thank you!

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