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MC
MC MCR 系列质量流量控制器参数
0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 3000 slpm 满量程
Tel: +86-21681
标准参数 (预订购选配项,请联系艾里卡特?中国代表处)
产品性能 MC MCR 系列质量流量控制器
精度(调零后标准条件下 ) ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)
高精度选配(调零后标准条件下) ± (0.4%Rdg + 0.2%F.S)
高精度 (选配)仅适用于量程为 5SCCM ~ 500SLPM 的设备
重复性 ± 0.2% F.S
零点漂移 满量程漂移 0.02% F.S / oC / Atm
工作范围 / 量程可调比 0.5% ~ 100% F.S / 200:1
最大可控流量 102.4% F.S
典型响应时间 100 毫秒(可调整)
启动预热时间 1 秒
运行工况 MC MCR 系列质量流量控制器
标准工况 (STP) 25oC 14.696 psia、20oC 14.696 psia、0oC 14.696 psia (三种工况供切换)
工作温度 ?10 ~ +50 oC
工作湿度范围 (非冷凝) 0 ~ 100%
内部最大工作压力
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