多晶硅行业涉及的物料安全资料物化性质.docVIP

三氯氢硅 　　三氯氢硅SiHCl3 　　1.别名?英文名 　　硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；Trichlorosilane、Silicochloroform． 　　2.用途 　　单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。 　　3.制法 　　(1)在高温下Si和HCl反应。 　　(2)用氢还原四氯化硅(采用含铝化合物的催化剂)。 　　4.理化性质 　　分子量： 135.43 　　熔点(101.325kPa)：-134℃；沸点(101.325kPa)：31.8℃；液体密度(0℃)：1350kg/m3；相对密度(气体，空气=1)： 4.7；蒸气压(-16.4℃)：13.3kPa；(14.5℃)：53.3kPa；燃点：-27.8℃；自燃点：104.4℃；闪点：-14℃；爆炸极限：6.9～70%；毒性级别：3；易燃性级别：4；易爆性级别：2 　　三氯硅烷在常温常压下为具有刺激性恶臭易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成SiO2、HCl和Cl2： 　　SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2；三氯硅烷的蒸气能与空气形成浓度范围很宽的爆炸性混合气，受热时引起猛烈的爆炸。它的热稳定性比二氯硅烷好，在900℃时分解产生氯化物有毒烟雾(HCl)，还生成Cl2和Si。 　　遇潮气时发烟，与水激烈反应:2SiHCl3+3H2O—→ (HSiO)2O+6HCl； 　　在碱液中分解放出氢气:SiHCl3+3NaOH+H2O—→Si (OH)4+3NaCl+H2； 　　与氧化性物质接触时产生爆炸性反应。与乙炔、烃等碳氢化合物反应产生有机氯硅烷: 　　SiHCl3+CH≡CH一→CH2CHSiCl3 、SiHCl3+CH2=CH2—→CH3CH2SiCl3 　　在氢化铝锂、氢化硼锂存在条件下，SiHCl3可被还原为硅烷。容器中的液态SiHCl3当容器受到强烈撞击时会着火。可溶解于苯、醚等。无水状态下三氯硅烷对铁和不锈钢不腐蚀，但是在有水分存在时腐蚀大部分金属。 　　5.毒性 　　小鼠-吸入LC50：1.5～2mg/L 　　最高容许浓度：1mg/m3 　　三氯硅烷的蒸气和液体都能对眼睛和皮肤引起灼伤，吸入后刺激呼吸道粘膜引起各种症状(参见四氯化硅)。 　　6.安全防护 　　液体用玻璃瓶或金属桶盛装，容器要存放在室外阴凉干燥通风良好之处或在易燃液体专用库内，要与氧化剂、碱类、酸类隔开，远离火种、热源，避光，库温不宜超过25℃。可用氨水探漏。 　　火灾时可用二氧化碳、干石粉、干砂，禁止用水及泡沫。废气可用水或碱液吸收。 　　三氯硅烷有水分时腐蚀性极强。可用铁、镍、铜镍合金、镍钢、低合金钢，不能用铝、铝合金。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚合体、氟橡胶、聚氯乙烯、聚乙烯、玻璃等。 四氯化硅 　　1.物质的理化常数: 　　国标编号 81043 　　CAS号 10026-04-7 　　中文名称 四氯化硅 　　英文名称 Silicon tetrachloride 　　别 名 氯化硅；四氯化矽 　　分子式 SiCl4 外观与性状 无色或淡黄色发烟液体，有刺激性气味，易潮解 　　分子量 169.90 蒸汽压 55.99kPa(37.8℃) 　　熔 点 -70℃ 沸点：57.6℃ 溶解性 可混溶于苯、氯仿、石油醚等多数有机溶剂 　　密 度 相对密度(水=1)1.48；相对密度(空气=1)5.86 稳定性 稳定 　　危险标记 20(酸性腐蚀品) 主要用途 用于制取纯硅、硅酸乙酯等，也用于制取烟幕剂 　　2.对环境的影响: 　　一、健康危害 　　侵入途径：吸入、食入、经皮吸收。 　　健康危害：对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用。高浓度可引起角膜混浊，呼吸道炎症，甚至肺水肿。皮肤接触后可引起组织坏死。 　　二、毒理学资料及环境行为 　　急性毒性：LC508000ppm，4小时(大鼠吸入) 　　危险特性：受热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气。 　　燃烧(分解)产物：氯化氢、氧化硅。 　　3.现场应急监测方法: 　　4.实验室监测方法: 　　气相色谱法，参照《分析化学手册》(第四分册，色谱分析)，化学工业出版社 　　5.环境标准: 　　前苏联(1975) 车间卫生标准 5mg/m3 　　6.应急处理处置方法: 　　一、泄漏应急处理 　　疏散泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿化学防护服。不要直接接触泄漏物，勿使泄漏物与可燃物质(木材、纸、油等)接触，在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散)，但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。将地面洒上苏打灰，然后用大量水冲洗，经稀释的洗水放入废水系统。如果大量泄漏，