电池车间工艺卫生要求.docVIP

电池片生产过程中工艺卫生要求 太阳能电池用硅片是高纯材料，在工艺过程中，我们要避免任何有害杂质进入硅片体内.半导体的主要特性之一就是对杂质十分敏感，只要有百万分之一，甚至更微乎的杂质就会对半导体的物理特性产生影响.目前车间工艺卫生较差、工艺卫生意识淡薄.应充分认识到管理和控制工艺卫生的重要性，建立各个环节的工艺卫生管理制度，以满足工艺卫生的要求，以免对硅片造成污染，直接对电池的转换效率、合格品率、可靠性和使用寿命造成影响.工艺卫生要求所设计的范围包括：车间环境、工作人员、工艺使用水、工艺化学溶液、工艺化学气体、设备工夹具等.其中扩散间洁净度要求万级，其他车间要求十万级.员工进出车间必须按工艺要求穿洁净服，着装规范；去离子水电导率在18MΩ以上,化学药品一般应使用电子级的,金属离子通常必须限制在0.01（ppm）级或更低，即一亿分之一.工艺卫生控制好了，我们的电池片的质量才有保障. 来料检验工序工艺卫生要求： 1. 工作人员必须按要求穿戴好工作服、鞋、手套、口罩等，着装规范. 2. 操作规范，整个操作过程戴好一次性薄膜手套和口罩，口罩保证遮住口鼻；自我监督，手套每100片更换一次,若有脏污需提前更换，确保不污染硅片，防止手指印的发生. 3. 保证工作环境的洁净度. 清洗工序工艺卫生要求： 1. 任何人员进车间必须按要求穿戴好工作服、鞋、手套、口罩等,着装规范. 2. 进清洗间必须吹风淋，包括人员、货物. 3. 保证装片操作台面的清洁，戴好一次性薄膜手套和口罩, 口罩保证遮住口鼻；整个操作过程中衣服、皮肤不可接触硅片； 自我监督,每100片更换一次,若有脏污需提前更换，确保不污染硅片以至于影响制绒效果； 使用过程中严禁不戴乳胶手套触摸承片盒. 4. 按工艺规程进行换液及清洗，保证超声槽、制绒槽、清洗槽、水槽以及各附槽的洁净状态； 在工艺过程中，严禁有金属及其他杂质进入各槽内，否则更换槽液；在更换药液的过程中要控制由外包装等带来的二次污染. 5. 工艺过程中取片观察表面绒面质量前，必须更换干净的乳胶手套，减少手指印的发生. 6. 严禁不带乳胶手套触摸甩干机工作台面及甩干机内任何部位；严禁甩干机敞开长时间暴露在空气中. 7. 甩干后的硅片及时放入传递窗，不得长时间滞留在空气中. 8. 注意流程卡等各种纸类不可与硅片及承片盒接触. 扩散工序工艺卫生要求： 任何人员进入扩散间必须穿好洁净服，戴好口罩、帽子、鞋套，然后进入风淋室进行30秒风淋（每次只能一人风淋）；非必要人员不要随便进入扩散间；扩散间的应急门平时严禁出入. 各道工序的工夹具应保持在各工位处，以免交叉污染. 不求清洗，并按要求做TCA和饱和. 定期对石英制品包括石英舟、石英档板（炉尾、炉口和外档板）、石英管等清洗, 并按要求做TCA和饱和.暂不使用的石英制品须存放在净化柜内，待下次使用前取出按要求清洗、做TCA和饱和. 扩散间不允许存在带有纤维的物质以及易锈的金属或粘有金属粉末的物品，比如纸盒、纸箱、拖把等. 不准将袖口撩高、卷起，保持洁净服干净. 任何纸制品不得接触硅片、卸片盒保持干净. 保持装片和卸片工作台面及周围地面清洁. 拿取清洗间传递窗内的硅片时必须戴完整干净的乳胶手套（内汗布手套）， 在插片时只允许舟叉（含舟叉套管）和真空吸笔接触石英舟和硅片，破损的舟叉套管及时更换. 测方块电阻时需使用干净的乳胶手套等距离取6片（每舟3片）扩散面朝炉口的硅片. 接触硅片以外其他物品后再接触硅片时，必须更换干净的乳胶手套. 空气：严格控制扩散间高洁净度环境与其他各工序低洁净度环境直接连通，不得将传递窗两边窗同时打开；各种洁净柜按要求打开，定期检查洁净柜功能是否完好. 13.各种气体：主要是软管等载体的污染，检查软管是否干净，如果出现发黑等问题，及时更换. 14.化学试剂：每次换源前必须检查源是否纯净. 刻蚀二次清洗工序工艺卫生要求： 1.全过程戴无纺布口罩，完全遮住口鼻，戴纱布手套及乳胶手套 2．刻蚀夹具：不用时用无水乙醇擦洗干净，放置于干燥的无酸性气体环境中保存. 3.石英钟罩可据具体情况，用净洁布拭酒精檫拭，酒精挥发干净后再使用. 4.交接班以及清洗机异常停止时水槽以及喷淋槽中不允许长时间放置硅片. 5.甩干的硅片不得长时间滞留在空气中，不允许把甩干后硅片放在非指定位置. PECVD工序工艺卫生要求： 1.整个PECVD生产过程中，要戴好口罩和手套. 2.插片过程中承载盒和硅片不可与身体任何部位接触. 3.使用前和每2小时用沾有无水乙醇的脱脂棉擦洗吸笔头，保证吸笔头干净. 4.石墨舟、石墨框的按工艺规程要求要求定期清洗和处理. 丝网印刷工序工艺卫生要求： 1.整个印刷生产过程中，必须戴好口罩和乳胶手套，严禁赤手接触硅片. 2.台面要经常清理，保证