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片上射频磁介质电感的设计与仿真.pdf
第19卷第5期 传感技术学报 V01.19No.5
2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Oct.2006
andSimulationof RF MediumInductors
Design On-ChipMagnetic
ZHANGFan,YANG
Chen,LIUFeng,RENTian-ling+,L工ULi—tian
(Institute 100084,China)
ofMicroelectronics,TsinghuaUniversity,Beijing
inductorsare inRFIC.To suitable materials
Abstract:On-chippassive required integrate magnetic
highly
RF could
intoRFinductorsisa methodof andsmall—sizeinductors,which
promising achievinghigh—quality
L reduce maintainandevenraisethe
not increasetheinductanceandthereforethesize。but
only quality
factoras of mediuminductorsare influencesofstructure
Q well.Kinds
integratedmagnetic designed.The
andmaterial oninductor are simulated.Theseresults
parameters performancesystematically givedesign
instructionstoachieverealsmall—sizeand inductors.
high-performance
on-chipmagnetic
words:on-chipinductor;RFIC;ferrite;simulation
Key
E队CC:2140,2570A,3120N
片上射频磁介质电感的设计与仿真
张 帆,杨 晨,刘 锋,任天令。,刘理天
(清华大学微电子学研究所,北京100084)
摘要:片上无源电感是RFIC中需求很高的器件.将适宜的磁材料引入到射频微电感中,既可有效地提升电感L值,从而
使电感所需面积减小,又能保持甚或提升电感Q值,是实现高性能、小尺寸射频微电感的一种非常有前景的方法.我们设计了
不同结构的磁介质微电感,通过软件仿真研究了电感结构和材料参数变化对电感性能的影响,为研制小尺寸、高性能片上磁
介质电感提供了理论指导.
关键词:片上电感;射频集成电路;铁氧体;仿真
中图分类号:TN402 文献标识码:A
片上无源电感是射频集成电路(RFIC)中需求 组装电感等新型
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