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片上射频磁介质电感的设计与仿真.pdf

第19卷第5期 传感技术学报 V01.19No.5 2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Oct.2006 andSimulationof RF MediumInductors Design On-ChipMagnetic ZHANGFan,YANG Chen,LIUFeng,RENTian-ling+,L工ULi—tian (Institute 100084,China) ofMicroelectronics,TsinghuaUniversity,Beijing inductorsare inRFIC.To suitable materials Abstract:On-chippassive required integrate magnetic highly RF could intoRFinductorsisa methodof andsmall—sizeinductors,which promising achievinghigh—quality L reduce maintainandevenraisethe not increasetheinductanceandthereforethesize。but only quality factoras of mediuminductorsare influencesofstructure Q well.Kinds integratedmagnetic designed.The andmaterial oninductor are simulated.Theseresults parameters performancesystematically givedesign instructionstoachieverealsmall—sizeand inductors. high-performance on-chipmagnetic words:on-chipinductor;RFIC;ferrite;simulation Key E队CC:2140,2570A,3120N 片上射频磁介质电感的设计与仿真 张 帆,杨 晨,刘 锋,任天令。,刘理天 (清华大学微电子学研究所,北京100084) 摘要:片上无源电感是RFIC中需求很高的器件.将适宜的磁材料引入到射频微电感中,既可有效地提升电感L值,从而 使电感所需面积减小,又能保持甚或提升电感Q值,是实现高性能、小尺寸射频微电感的一种非常有前景的方法.我们设计了 不同结构的磁介质微电感,通过软件仿真研究了电感结构和材料参数变化对电感性能的影响,为研制小尺寸、高性能片上磁 介质电感提供了理论指导. 关键词:片上电感;射频集成电路;铁氧体;仿真 中图分类号:TN402 文献标识码:A 片上无源电感是射频集成电路(RFIC)中需求 组装电感等新型

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