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VG Series 0.5 VG-05F VG-05P O FKM PERFLUOROELASTOMER 1 23 4 5 IN VENT 1. 2. 1 2 3 4 5 6O 9 2~3 34 SUS316L SUS316L SUS316L SUS316L SUS316L FKM PERFLUOROELASTOMER VAC 6 IN 1/4JXR VAC. 1/4JXR VENT 3/8JXR 1 1 JXR VCR MPa /min ANR kPa abs /min ANR Pa m3/s He MPa 1 0.5MPa 2 kg VG 0 80 0.4 0.6 15 1 13.3 6 12 2.8 10-12 3 0 80 IN 1/4JXR VCR VAC. 1/4JXR VCR VENT 3/8JXR VCR 0.2 kPa abs 100 10 13.3kPa abs 1 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 MPa VG Series /min ANR 20 15 10 5 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 MPa VG 05 F a mm bO a mm 05 0.5 bO F FKM P PERFLUOROELASTOMER VG-05 1/4 JXR IN VENT 3/8 JXR 32.5 1/4 JXR VAC. 26.5 31.5 35

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