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VGSeries
VG Series
0.5
VG-05F VG-05P
O
FKM PERFLUOROELASTOMER
1 23 4
5
IN VENT
1. 2.
1 2 3 4 5 6O
9 2~3 34
SUS316L SUS316L SUS316L SUS316L SUS316L FKM PERFLUOROELASTOMER
VAC
6
IN 1/4JXR VAC. 1/4JXR VENT 3/8JXR
1
1 JXR
VCR
MPa /min ANR kPa abs /min ANR Pa m3/s He
MPa
1 0.5MPa 2
kg
VG
0 80
0.4 0.6
15 1
13.3
6 12
2.8 10-12
3
0 80
IN 1/4JXR
VCR
VAC. 1/4JXR
VCR
VENT 3/8JXR
VCR
0.2
kPa abs 100
10
13.3kPa abs
1 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8
MPa
VG Series
/min ANR 20 15 10
5 0
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 MPa
VG 05 F
a mm bO
a mm
05 0.5
bO
F FKM P PERFLUOROELASTOMER
VG-05
1/4 JXR
IN
VENT
3/8 JXR
32.5
1/4 JXR
VAC. 26.5 31.5
35
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