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NANOTECH 350FG 介绍 一、超精密加工技术概述 1.1 超精密加工技术的几种方式 1.2 超精密加工定义 ? 精密加工是指加工精度在0.1～lμ m之间， 表面粗糙度Ra在0.lμ m以下（称微米加工） ? 超精密加工的加工精度在0.lμ m以下，表面 粗糙度在0.02μ m以下（称为亚微米加工） 1.3 超精密加工的特点 ? 微量切除（极薄切削） ? 形成综合制造工艺系统 ? 与自动化联系十分紧密 ? 加工检测一体化 1.4 影响超精密加工的因素 1.5 超精密加工的应用与进展 超精密加工研究范畴：（关键技术） ? 超精密加工方法 ? 超精密加工刀具 ? 超精密加工设备 ? 超精密加工环境 ? 超精密加工精度的在线检测及计量测试 1.6 超精密加工的进展 ? 美国是研究最早的国家，处于世界领先地位 NANOTECH 350FG 是由美国企业MOORE制造 ? 英国的克兰菲尔德精密工程研究所 ? 日本起步较晚，发展最快，以发展国防尖端技术为主要 目标。 ? 我国在70年代末期有长足进步，80年代中期出现了具有 世界水平的超精密机床和部件 1.7 350FG的技术指标及应用 ? Ultra-Precision three, four, or five axis CNC machining system for on-axis turning of aspheric and toroidal surfaces; slow-slideservo machining (rotary ruling) of freeform surfaces; and raster flycutting of freeforms, linear diffractives, 详细指标链接 and prismatic optical structures 普通车削 SSS FTS 二、五轴超精密加工机床的 组成 NANOTECH 350FG的组成 五轴超精密加工机床主要功能部件： ? 花岗岩床身 ? 主轴（C轴）及其驱动装置 ? 液体静压导轨XYZB及进给驱动装置 ? FTS装置 ? 金刚石刀具 ? 高速磨头 床身示意图 ? 在线测量WEC Y轴未画出 ? 光学对刀仪等 2.1 五轴机床身 ?床身由花岗岩制成，热变形小 ?床身由气垫支撑，隔绝震动 2.2 气浮主轴结构 双半球空气静压轴承主轴 1—前轴承 2—供气孔 3—后轴承 4—定位 环 5—旋转变压器6—无刷电动机 7—外壳 8— 多孔石墨 ?主轴为带C轴模式的气浮主轴 ?转速最高可达3000RPM ?反馈精度0.07 arc seconds ?重复定位精度±1.0 arc seconds ?轴向及径向跳动小于12.5nm ?在100PSI时可以吸附大约70KG 的零件 2.3 液体静压导轨 ? 原理：将具有一定压力的润滑 油，经节流器输入到导轨面上 的油腔，即可形成承载油膜，