L103-8006物理系陆大安规格表.doc-国立中央大学.doc

一、採購標的 1、中文名稱：高真空電子束蒸鍍系統數量一組 採購案號：L103-R8006 英文名稱：high-vacuum electron-beam evaporation system數量一組 　　2、規格需求（詳如：附件一）。 3、本案有採購財物或勞務單項明細(如附件二：單項明細表)。 二、本採購預算金額：新台幣 1,800,000 元。 三、擬決標幣別：ˇ新台幣 四、履約期限：ˇ機關開立信用狀當日起 45 個日曆天內完成交貨並需安裝測試。 五、履約金及保固金六、3、貨到驗收合格後天內付款或電匯付款　 請購單位： 中央大學物理系 請購人： 陸老師　　 聯絡人： 楊小姐聯絡電話：03-4227151 ext 65338 　 請購單位聯絡人E-mail： sweet@ncu.edu.tw 接續頁 規格需求 附件一 採購案號：L103-R8006 一、購案名稱： 高真空電子束蒸鍍系統 　數量及單位： 一組 二、採購規格內容與功能需求如下： （一）規格內容 配合本校能源政策，儀器設備及零配件優先考慮採購節能減碳產品。 1、electron-beam source ?270° electron-beam deflection with hidden filament and sweeping capability (隱藏式電子源、電子束偏折達270度並具掃描功能) ?six 7cc-pockets with rotation drive (承載六個7cc可旋轉替換坩鍋) ?6 kW power supply for electron-beam (電子束電源供應器最高輸出功率達6 kW) ?shutter above electron-beam source (電子束蒸鍍源上方具旋轉檔板遮片) 2、chamber (真空蒸鍍腔體) ?made of polished stainless steel (不銹鋼腔體、內外電解拋光) ?door for loading samples and exchanging evaporation materials (附門以方便更換樣品與蒸鍍源) ?view port to see both electron-beam source and sample holder (附視窗、可由腔體外目視蒸鍍源與樣品) ?pneumatic gate valve for turbo pumping (含高真空氣動閥門用於渦輪幫浦抽氣) ?ports and valves for roughing, fore-pumping and venting (含粗抽閥、前級閥與洩氣閥) ?water cooling lines for electron-beam source (含電子束蒸鍍源冷卻水管路) ?three gas lines to chamber, one equipped with needle valve (含一對三氣體管路、其中一支須加針狀閥) ?three 4.5” and one 2.75” capped spare CF-flanges (含三個4.5吋、一個2.75吋備用CF法蘭) 3、?with turbo pumping (含高真空幫?integration of existing scroll pump (Agilent Varian TriScroll 300) to the system (整合請購人既有的Agilent Varian TriScroll 300至蒸鍍系統) ?reach 6 × 10-6 torr within 30-minute pumping (抽氣30分鐘內到達低於6 × 10-6 torr的工作壓力) ?base pressure lower than 6 × 10-7 torr within 16-hour pumping (16小時抽氣後到達低於6 × 10-7 torr的終極壓力) 4、sample holder ?able to mount one 4-inch wafer/diced chips (可承接4吋晶片一片或破片) ?able to tilt ±180° (基座可傾斜±180°) ?water cooling line included (基座含冷卻水管路) 5、gaug