化腐后清洗机-AAwork自由工作.doc

背封前清洗 背封前清洗设备需求概要 本系统是自动化湿法清洗设备，有7个清洗槽，机械手夹取片盒，1个甩干机。该湿法清洗设备用于背损伤后的第二到清洗即背封前清洗加工能力6英寸到8英寸硅片产品，该设备可同时清洗及干燥硅片的表面及背面，清洗通过化学药液及超声加兆声方式去除粘在硅片表面的颗粒。该系统的清洗及干燥可获得极高的成品率。 详细说明 单元 背封前自动湿法清洗机 夹具 标准6、8英寸（25片/篮）×2 流程方向 右→左 尺寸预计 长度5到8米，宽度1.5米到2米，高度1.8米到2.5米 重量预计 2-4吨 独立单元 SC-1 、水中传递、SC-2、甩干 化学品供应 由CDS供应，通过测箱控制 其他 硅片颗粒去除能力：用抛光6英寸硅片表面颗粒情况进行验证，要求大于0.3微米颗粒小于8颗进行验收，表面无化学化学或超声损伤。 控制系统：程控装置 机械手提起两个片篮 主要单元构造 框架：表面PVC5T，涂在金属上 外部：PVC5T表面（象牙色） 备注 设备由7个清洗槽、2-3个机械手、一个甩干机组成。 每个机械手每次可搬运两个片篮。 清洗药液槽和最终一个纯水槽需要有超声波装置。 超声波频率应覆盖去除大颗粒和0.2微米颗粒的能力。 3.清洗槽预计配置 名称 NO.1 NO.2 NO.3 NO.4 NO.5 NO.6 NO.7 NO.8 NO.9 NO.10 装载 1号液 快排或溢流 水中传递槽 2号液 快排 溢流 干燥 卸载 化学品 水 四个片蓝 NH4OH+H2O2 +DIW DIW DIW HCL+H2O2 +DIW DIW DIW 甩干 干 四个 混合比列 片篮 待讨论 传递 待讨论 片篮 机械手工作范围 传送机 NO.1 NO.1 NO.1 NO.2 NO.2 NO.2 NO.2 NO.2 NO.3 NO.3 温度 RT 70 RT RT RT 70 RT RT RT 槽盖 自动 自动 自动 槽形状 溢流 溢流 溢流 溢流 溢流 溢流 溢流 溢流 槽材料 PVC 石英 PVC PVC PVC 石英 PVC 石英 超声 37-100 KHZ 200-400KHZ 500-900KHZ 测箱 2 2 过虑 0.2um 0.2um ULPA 线路加热 0 0 隔膜泵 0 0 供给方式 纯水管 罐供给 纯水管 从5 纯水管 罐供给 纯水管 纯水管 排污管 普通1 化学 普通1 普通1 普通1 化学 普通1 普通1 普通1 管道 PVC HT PVC PVC PVC PVC HT PVC PVC PVC PVC 热纯水槽 0 0 片篮 4 2 2 2 2 2 2 2 2 鼓N2 0 0 信号脉冲 0 0 阻抗计 0 4.详细说明： 4－1主体 尺寸：5000-8000w×1500-2000d×1800-2500h 材料：PVC象牙色，覆于钢架上 清洗单元：ULPA过滤器(PFA外壳），开启 手拿式淋浴：安装，2部 泄漏检测：安装于槽底 前门：透明PVC滑动方式 水槽：PVC与HT PVC 排风：Φ250×2，Φ150×1，背部（待定） 照明：荧光灯 自位轮及调整器：安装 4－2装载（水中） 容量：6片篮 槽材料：透明PVC 槽形状：四角带V－notch，溢流 温度：RT 供给方式：纯水管线供给，带有储备水线路 流量计：装配 供给管道：净化PVC 排污：到槽 4－3SC-1槽（1） 化学品：NH4OH+H2O2+DIW 材料：石英 能力：6、8英寸片篮，每次两篮 槽容积：待定 槽形式：溢流循环方式 槽盖：自动罩 温度：最高80摄氏度 加热器：在线加热 循环泵：隔膜泵 循环过滤器：外壳 PFA10英寸 1件；过滤器 化学品供应：从测箱中 超声：频率37KHZ-100KHZ 功率 600-1200瓦 片盒上下移动：电动振荡器 4－4溢流或快排槽（2） 液体：纯水 材料：无金属PVC 能力：6、8英寸片篮，每次两盒 槽容量：待定 槽形式：溢流、快排 温度：RT 供给方式：有纯水供应线路 流量计：装配 排污：气动阀 4－5纯水槽（3、4） 闸板：由槽的中间分开，PVC材料 片盒传递：水中气缸驱动 液体：纯水 材料：无金属PVC 能力：6、8英寸片篮，每次两篮 槽容积：待定 槽形式：溢流 温度：RT 供给方式：由纯水供给线路 流量计：装配 排污：气动阀 4－6SC－2槽（5） 化学品：HCL+H2O2+DIW 材料：石英 能力：6、8英寸片盒，每次两篮 槽容积：待