可靠性试验简介讲义.pptVIP

纲领 可靠性定义 可靠性 Vs 质量 浴盆曲线 可靠性试验 可靠性试验目的 可靠性试验分类 AOS 可靠性试验类型 HTS （High Temperature Storage 高温储存试验） HTGB (High Temperature Gtae Bias 高温Gate偏压试验） HTRB (High Temperature Reverse Bias 高温反相偏压试验） 接上页 ESD Test （Electrostatic Discharge 静电放电测试） HBM ESD （Human Body Model 人体模式） MM ESD （Machine Model 设备模式） CDM ESD （Charged Device Model 器件放电模式） Precon （Precondition 预处理） Delamination Type （分层类型） PCT （Pressure Cooking Test 压力蒸煮试验） TC （Temperature Cycling 温度循环试验） HAST (Highly Accelerated Stress Test 高压加速寿命试验） AOS可靠性试验设备 可靠性定义 Reliability: The ability of a device to conform to its electrical and visual/mechanical specifications over a specified period of time under specified conditions at a specified confidence level. 可靠性：产品在规定的条件下，规定的时间内完成规定功能的能力 可靠性 Vs 质量 可靠性: 衡量器件寿命期望值，也就是说可以通过可靠性结果计算器件需要多久持续满足规范要求。 质量：衡量器件在当前是否满足规定的标准要求。 接上页 初期失效区域 大多数半导体元器件共性 主要有设计，制造原因引起 能够被筛选 大致需要3-15个月，通常为1年 可用时期区域 随机失效, EOS（过电） 一般需要10年 老化区域 材料疲劳破坏，老化 可靠性试验 可靠性试验目的 可靠性试验目的： 使试制阶段的产品达到预定的可靠性指标。 对产品的制作过程起监视作用。 根据试验制定出合理的工艺筛选条件。 通过试验可以对产品进行可靠性鉴定或验收。 通过试验可以研究器件的失效机理。 可靠性试验分类 对于不同的产品，为了达到不同的目的，可以选择不同的可靠性试验方法。可靠性试验有多种分类方法: 以环境条件来划分,可分为包括各种应力条件下的模拟试验和现场试验 以试验项目划分，可分为环境试验、寿命试验、加速试验和各种特殊试验 按试验目的来划分，则可分为筛选试验、鉴定试验和验收试验 按试验性质来划分，也可分为破坏性试验和非破坏性试验 通常惯用的分类法，是把它归纳为五大类 环境试验 寿命试验 筛选试验 现场使用试验 鉴定试验 AOS 可靠性试验 HTS HTS: High Temperature Storage （高温储存试验） Purpose: To evaluate the tolerance of the device to storage for long periods at high temperature without electrical stress applied 目的：评估器件长时间储存在高温无偏压条件下的持久能力 Reference: JESD22-A103 HTGB HTGB: High Temperature Gate Bias （高温Gate偏压试验） Purpose: To evaluate the endurance of devices when they are submitted to electrical and thermal stress over and extended time period. 目的：评估器件在电和温度作用下的持久能力 Reference: JESD22-A108 HTRB HTRB: High Temperature Reverse Bias（高温反相偏压试验） Purpose: To evaluate the endurance of devices when they are submitted to electrical and thermal stress over and extended time period. 目的：评估器件在电和温度作用下的持久能力 Reference: JESD22-A108 ESD test Electrostatic