蚀刻补偿原理及应用.doc

蚀刻补偿原理及应用 1、蝕刻補償原理 什麼是“間隔噴淋蝕刻”的意思？為什麼“間隔噴淋蝕刻”能給我們一個更加均勻的蝕刻效果呢？ 當蝕刻噴淋到上板面的時候，板邊緣的藥水流動要更快於板中間，這樣導致了在上板面形成一種“魂凝”狀態，從而阻礙了噴淋和降低了蝕刻反映速度，導致在上板面形成一個“銅山”（如圖一所示），為了得到更好的蝕刻品質，這些“銅山”應該要除去，下面圖表會解釋這個過程。所謂的“銅山”已經使用3D圖表顯示，同時使用等高線分開。 為了補償上板面“混凝”的影響，設計了一個特殊的噴淋系統，這個系統在工作方向垂直方向上安裝了一些噴管，每一根噴管可以各自的控制其開關，而且每一根噴管安裝了不同數量的噴嘴，噴嘴的形狀安排成一個三角形。正常情況下按照以下排列：第一根噴管安裝了9個噴嘴，第二根噴嘴安裝了8個噴嘴，第三根噴管安裝了7個噴嘴，如此類推，直到最後一根噴管安裝3到4個噴嘴為止，如 圖2所示。由於可以選擇每一個噴管的開、關，在板面上的“銅山”可以被一層一層的除掉。 下面給了我們關於“間隔噴淋”程式更詳細的解釋： 以上圖解顯示了有6根噴管的“間隔噴淋”系統，在板面上的橢圓形表示了板面上殘銅（銅山）的不同的厚度。 當板走進時，有8個噴嘴的第一根噴管被開動，目的是蝕刻掉1.5um的銅厚，意味著原來1.5um的區域被蝕刻為0um，3un的區域蝕刻為1.5um，如此類推。在第一個噴管到達板後端以前，第二根噴管已經被開動，實際上是在1.5um銅厚的區域剛好到達第二根噴管時開動的。第三根噴管是在下一層銅層到達時開動，如此類推，一直到裝有3個噴嘴的最後一根噴管噴完為止，這意味著這個系統可以根據實際蝕刻掉板面上最後一層銅層，而噴灌管的開、關選擇可以在PLC控制的PC上設定。 2、蝕刻補償控制與操作（手動機） 2.1控制板面之操作鍵 操作鍵 功能 備註 顯示HELP內文 Help指示燈發亮時,表示有內文訊息 輸入 確認及完成輸入 確認 確認錯誤訊息 解除/返回/取消 在未按ENTER前,除消輸入. 返回上一頁或顯示板面 離開Help內文 移動輸入/浮標/顯示 上下左右箭頭表示移動方向 + 選擇其他輸入符號/文字 如選擇蝕刻補償噴淋狀態:on(長開), off(長關), Int(間歇噴淋) 2.2概覽蝕刻補償各噴管狀況 按 鍵進入概覽板面(在概覽板面內,可視察噴管開關狀況) 噴管號 噴管開關狀況: 上噴管開啟╦ 上噴管關閉╤ 下噴管開啟╩ 下噴管關閉╧ 2.3閱覽工作狀態信息 按 鍵進入信息閱覽板面(在信息板面內,可閱覽工作狀態信息) 工作信息 信息編號 故障信息 信息編號 離開工作信息板面,需按下ENTER鍵 與工作信息不同,故障信息會閃動,直致按下 但必須確認或修復排除所有故障信息 ACK鍵確認或修復排除故障 如有多個信息可按 閱讀其他信息 幫助排除故障內文 按HELP鍵閱讀內文,離開按ESC鍵 2.4蝕刻補償參數輸入 按 鍵進入設定補償參數板面 在板面首頁可輸入零點修正值及蝕刻補償類型 零點修正為+10厘米 蝕刻補償類型為內層補償(Outsidelayer外層補償) 下頁 零點修正范圍------ +5