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2017-02-14 发布于重庆
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电子显微镜(SEM)的应用.doc

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电子显微镜(SEM)的应用

扫描电子显微镜的应用 1. 扫描电子显微镜概述将电子束会聚成很小的探针在试样表面扫描，同时接收从试样表面发出的二次电子等信息，获得与入射电子探针位置同步的二维图像，这样的电子显微镜就称为扫描电子显微镜（SEM scanning electron microscope）,这种观察方法扫描电子显微方法（scanning electron microscopy）。现在SEM大都与能谱（EDS）组合，可以进行成分分析。图1扫描电子显微镜成像示意图扫描电子显微镜主要特点：（1）（）则有效放大率40000倍如果选择高于40000倍的放大倍率，不会增加图像细节，只是虚放（）SEM。长工作距离、小物镜光阑、低放大倍率能得到大景深图像。一般情况下，SEM景深比透射电镜TEM大10倍，比光学显微镜大100倍。（）（）SEM具有图像处理和图像分析功能。有的SEM加入附件后，能进行加热、冷却、拉伸及弯曲等动态过程的观察。 2. 扫描电子显微镜的功能（1）（）（）（）（）（）（）（）JYT 010-1996分析型扫描电子显微镜方法通则，GBT 17359-1998 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析方法通则。 4. 试样要求（1）（）（）（1）（）（）（）（）（1）（）适当的工作距离的选择，可以得到最好的影像。较短的工作距离，电子讯号接收较佳，可以得到较高的分辨率，但是景深缩短。较长的工作距离，分辨率较差，但是影像景深较长，表面起伏较大的样品可得到较均匀清晰的影像。（）一般来说，加速电压提高，电子束波长越短，理论上，只考虑电子束直径的大小，加速电压愈大，可得到愈小的聚焦电子束，因而提高分辨率，然而提高加速电压却有一些不可忽视的缺点：. 无法看到样品表面的微细结构。. 会出现不寻常的边缘效应。. 电荷累积的可能性增高。. 样品损伤的可能性增高。因此适当的加速电压调整，才可获得最清晰的影像。图2-5:10CrNi5Mo钢冲击试样断口1000倍图6-7:10CrNi5Mo钢4%硝酸酒精侵蚀组织1000倍