【2017年整理】湿法清洗及腐蚀工艺.docVIP

湿法清洗及湿法腐蚀目 录一：简介二：基本概念三：湿法清洗四：湿法腐蚀五：湿法去胶六：在线湿法设备及湿法腐蚀异常简介七．常见工艺要求和异常一：简 介 众所周知，湿法腐蚀和湿法清洗在很早以前就已在半导体生产上被广泛接受和使用，许多湿法工艺显示了其优越的性能。伴随IC集成度的提高,硅片表面的洁净度对于获得IC器件高性能和高成品率至关重要, 硅片清洗也显得尤为重要.湿法腐蚀是一种半导体生产中实现图形转移的工艺,由于其高产出,低成本,高可靠性以及有很高的选择比仍被广泛应用.二 基本概念腐蚀是微电子生产中使用实现图形转移的一种工艺，其目标是精确的去除不被MASK覆盖的材料，如图1：图 1腐蚀工艺的基本概念 ：ETCH RATE (E/R) ------腐蚀速率：是指所定义的膜被去除的速率或去除率，通常用Um/MIN，A/MIN为单位来表示。E/R UNIFORMITY------ 腐蚀速率均匀性,通常用三种不同方式来表示: UNIFORMITY ACROSS THE WAFER WAFER TO WAFER LOT TO LOT腐蚀速率均匀性计算UNIFORMITY=（ERHIGH - ERLOW）/（ERHIGH + ERLOW）*100%SELECTIVITY-------选择比是指两种膜的腐蚀速率之比,其计算公式如下:SEL A/B= （E/R A）/（E/R B）选择比反映腐蚀过程中对另一种材料（光刻胶或衬底）的影响，在腐蚀工艺中必须特别注意SEL，这是实现腐蚀工艺的首要条件。PRPR PRPRSIO2SIO2SINSIN SIO2SIO2SINSIN Good selectivity Poor selectivity (Undercut)ISOTROPY-------各向同性：腐蚀时在各个方向上具有相同的腐蚀速率；如湿法腐蚀就是各向同性腐蚀。具体如下图：PRPRPRPRSUB SUB ISOTROPYANISOTROPY-------各向异性：腐蚀速率在纵向和横向上具有不同的腐蚀，一般纵向速率远大于横向速率；如干法腐蚀大多数是各向异性腐蚀。具体如下图：PRPR SUBSIO2 SUBSIO2 ANISOTROPYCD（CD LOSS）----条宽（条宽损失）：腐蚀对图形条宽的影响。CD LOSS= PHOTO CD --FINAL CDLOADING EFFECT------ 负载效应：E/R依赖于暴露的被腐蚀面积总量的一种现象，叫负载效应，一般在干法腐蚀工艺中较常用到。这包括两个方面A）E/R取决于在腔体中的硅片数，在这种情况下，由于腐蚀性粒子的消耗，其总体E/R会变慢。B）另一种是取决于单一硅片表面被腐蚀的面积。但须注意被腐蚀的面积会随工艺的进程而有所变化。OVER ETCH------ 过腐蚀：是指在正常腐蚀量的基础上增加的腐蚀量，一般用来保证腐蚀结果，但过量的过腐蚀也将造成异常（如CD偏小，OXIDE LOSS 大等）。CONTACT ANGLE-----接触角:是衡量表面张力的一种参数，表面张力越大，接触角越大。PROFILE -------剖面形貌：是指在腐蚀后的剖面图形的拓扑结构，它主要影响台阶覆盖等，为获得满意得剖面形貌，须进行不同性质得处理（如进行等离子体处理或进行各向同性和各向异性腐蚀的组合）。常见得剖面形貌如下图：三、湿法清洗伴随IC集成度的提高,硅片表面的洁净度对于获得IC器件高性能和高成品率至关重要。那么对清洗目的与要求就更严格。清洗是为减少沾污,因沾污会影响器件性能,导致可靠性问题,降低成品率，这就要求在每层的下一步工艺前或下一层前须进行彻底的清洗。由于有许多可能情形的沾污从而使清洗显得很复杂，下面就讲一下沾污的种类以及各种去除方法。沾污源及其检测 两类主要的沾污源为颗粒和膜，随器件尺寸的缩小，由颗粒所导致的缺陷数就增加，因此对清洗的要求就越来越高。有时膜沾污会变成颗粒沾污。 1: 颗粒