纳米材料与技术电子信息技术通识课作业.docxVIP

中原工学院《纳米材料与技术》课程论文 题 目 纳米材料及其在电子信息中的应用 院 （系） 电子信息学院 专业班级 电信142 学生姓名 赵文雅 学号 201400434226 2015年 12 月 9 日摘 要：本文介绍的是纳米材料与电子新信息技术之间的联系，粗略的描述了微电子元件中纳米材料技术的基本介绍与前景发展。纳米电子技术是指在纳米尺寸范围内构筑纳米和量子器件，集成纳米，从而实现量子计算机和量子通信系统的信息计算、传输与处理的相关技术，其中，纳米电子器件是目前纳米电子技术发展的关键与核心。现在，纳米电子技术正处在蓬勃发展时期，其最终目标在于立足必威体育精装版的物理理论和最先进的工艺手段，突破传统的物理尺寸与技术极限，开发物质潜在的信息和结构潜力，按照全新的概念设计制造纳米器件、构造电子系统，使电子系统的储存和处理信息能力实现革命性的飞跃。目前，人们利用纳米电子材料和纳米光刻技术，已研制出许多纳米电子器件，如电子共振隧穿器件（共振二极管 、三极共振隧穿 、单电子晶体管 、金属基 、半导体 、纳米粒子、单电子静电计、单电子、半导体 存储器、硅纳米晶体制造的存储器、纳米浮栅存储器、纳米硅微晶薄膜器件和聚合体电子器件等。关键字：纳米电子材料；纳米电子器件；纳米技术绪论随着微电子技术的发展和应用市场的开发，对IC的集成密度的要求越来越高，电子器件的小型化以指数率持续变小，特征尺寸从微米级到亚微米级再缩小至纳米级。纳米电子技术是传统电子技术发展的必然结果。多年来，半导体低维结构系统，特别是量子阱和超晶格、量子线、量子点，是半导体物理理论研究和半导体器件开发与应用最为活跃的领域。异质结量子阱和超晶格技术最为成熟，并开始从基础研究转向应用，出现了大量性能优异的量子阱器件，如HEMT、RTD、激光器等，并用于研制微波、毫米波放大器、振荡器、混频器、倍频器及光调制器、探测器；在移动通信、卫星通信、遥感、医疗设备以至消费类等许多领域获得了应用。虽然，量子线和量子点技术仍相对相当“年轻”，新的发现和新的应用仍有待开发，但量子线在微波、毫米波、亚毫米波传输方面已显示良好性能，用量子点阵列研制的激光器、光调制器、远红外探测器等器件已经验证演示。这一切表明，以理论研究、器件设计、工艺开发和电路研制为内容的纳米半导体学科的研究是当前纳米电子学发展的主旋律，有必要着重讨论其发展现状与趋势。一、纳米电子器件简介 纳米电子技术是指在纳米尺寸范围内构筑纳米和量子器件，集成纳米，从而实现量子计算机和量子通信系统的信息计算、传输与处理的相关技术，其中，纳米电子器件是目前纳米电子技术发展的关键与核心。现在，纳米电子技术正处在蓬勃发展时期，其最终目标在于立足必威体育精装版的物理理论和最先进的工艺手段，突破传统的物理尺寸与技术极限，开发物质潜在的信息和结构潜力，按照全新的概念设计制造纳米器件、构造电子系统，使电子系统的储存和处理信息能力实现革命性的飞跃。 目前，人们利用纳米电子材料和纳米光刻技术，已研制出许多纳米电子器件，如电子共振隧穿器件（共振二极管 、三极共振隧穿 、单电子晶体管 、金属基 、半导体 、纳米粒子、单电子静电计、单电子、半导体 存储器、硅纳米晶体制造的存储器、纳米浮栅存储器、纳米硅微晶薄膜器件和聚合体电子器件等。二、纳米电子器件的分类 关于纳米电子器件的分类，国内外有着不同的看法。根据纳米电子技术的发展和对未来的预测，一种分法把纳米电子器件广义地分为以下类 ：纳米级CMOS器件，如绝缘层上硅MOSFET、 异 质 结MOSFET 、 低 温MOSFET、 双 极MOSFET等；量子效应器件，如量子干涉器件、量子点器件和谐振隧道器件等；单电子器件，如单电子箱、电容耦合和电阻耦合单电子晶体管、单电子结阵列、单电子泵、单电子陷阱等；单分子器件，如单电子开关、单原子点接触器件、单分子开关、分子线、量子效应分子电子器件、电化学分子电子器件等；纳米传感器，如量子隧道传感器等；纳米集成电路，包括纳米电子集成电路和纳米光电集成电路；纳米存储器，如超高容量纳米存储器、隧道型静态随机存储器、单电子硅基 存储器、单电子存储器、单电子量子存储器等；纳米CMOS混合电路，包括纳米CMOS电路和三-四族化合物半导体共振隧道效应电路，纳米CMOS电路和单电子纳米开关电路，纳米CMOS电路和碳纳米管电路，纳米CMOS电路和人造原子电路，纳米CMOS电路和DNA电路等。三、纳米结构制备和加工技术 1.光刻技术 光学光刻、电子束光刻与离子束光刻技术统称三束光刻技术，是通过掩模、曝光等工艺将设计的器件图形结构转移到半导体基片上的 -% 加工技术 。目前，随着光刻技术线宽的不断减小，光学光刻、电子束光刻与离子束光刻技术已在纳米cmos器件、纳米集成电路、纳米cmos混合电路等加工领域表