【2017年整理】国内外多晶硅生产的主要工艺技术.docVIP

国内外多晶硅生产的主要工艺技术 1，改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法 改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢，氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。 国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。 2，硅烷法——硅烷热分解法 硅烷是以四氯化硅氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法等方法制取。然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。以前只有日本小松掌握此技术，由于发生过严重的爆炸事故后，没有继续扩大生产。但美国Asimi和SGS公司仍采用硅烷气热分解生产纯度较高的电子级多晶硅产品。 3，流化床法 以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气。 制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应，生成粒状多晶硅产品。因为在流化床反应炉内参与反应的硅表面积大，生产效率高，电耗低与成本低，适用于大规模生产太阳能级多晶硅。唯一的缺点是安全性差，危险性大。其次是产品纯度 不高，但基本能满足太阳能电池生产的使用。 此法是美国联合碳化合物公司早年研究的工艺技术。目前世界上只有美国MEMC公司采用此法生产粒状多晶硅。此法比较适合生产价廉的太阳能级多晶硅。 4，太阳能级多晶硅新工艺技术 除了上述改良西门子法、硅烷热分解法、流化床反应炉法三种方法生产电子级与太阳能级多晶硅以外，还涌现出几种专门生产太阳能级多晶硅新工艺技术。 1）冶金法生产太阳能级多晶硅 据资料报导日本川崎制铁公司采用冶金法制得的多晶硅已在世界上最大的太阳能电池厂应用，现已形成800吨/年的生产能力，全量供给SHARP公司。 主要工艺是：选择纯度较好的工业硅进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分，经粗粉碎与清洗后，在电子束融解炉中去除磷和碳杂质，直接生成太阳能级多晶硅。 2）气液沉积法生产粒状太阳能级多晶硅 据资料报导以日本Tokuyama公司为代表，目前10吨试验线在运行，200吨半商业化规模生产线在2005-2006年间投入试运行。 主要工艺是：将反应器中的石墨管的温度升高到1500℃，流体 三氯氢硅和氢气从石墨管的上部注入，在石墨管内壁1500℃高温处反应生成液体状硅，然后滴入底部，温度回升变成固体粒状的太阳能级多晶硅。 3）重掺硅废料提纯法生产太阳能级多晶硅 据美国Crystal Systems资料报导，美国通过对重掺单晶硅生产过程中产生的硅废料提纯后，可以用作太阳能电池生产用的多晶硅，最终成本价可望控制在20美元/Kg 大坪镇中学安全工作应急预案 （2012-2013学年度） 为了加强和改进学校安全工作，保障学校师生员工健康、平安地学习、工作、生活，打造平安校园，防范师生安全事故发生，并能快速、及时、妥善处理突发的安全事故，切实有效降低安全事故的危害，依照上级有关要求及有关法律法规，从本校实际出发，特制定本预案。 一、安全事故应急组织机构： 1、安全事故应急领导小组： 总指挥：何文清 副指挥：吴新阳 李意明 成 员：何楚才 朱孝筹 田建新 教导处和各班主任 后勤保障：黄泉源 二、安全事故应急预案： （一）、防火安全预案： 1、防范预案： （1）、严禁学生将火柴、打火机等火种带入学校。 （2）、严禁学生在教室里使用用电设备等。 （3）、严禁在校园内存放或燃放烟花爆竹。 （4）、严禁在校园内焚烧废纸、树枝、树叶等。 （5）、进行学生自护疏散、消防器材使用及紧急状态时切断电源等学习、演练。 2、应急预案： （1）、出现火警：立即组织有效扑救，切断电源、燃气源等火源，防止火势蔓延。 （2）、迅速组织学生从最靠近的安全通道疏散（不得组织学生扑救）。 （3）、在实施第一、第二条款同时，立即向学校领导报告，严重的直接向市局领导报告，必要时拨打119火警电话，以求援助（火警电话必须讲清楚事发地点、所处地域、方位、火情种类等）。 （4）、及时组织对受伤人员进行救治。 （5）、排查事故原因，及时处理并上报。 （二）、用电安全预案： 1、防范预案： （1）、组织对学生及老师进行用电安全知识辅导。 （2）、教师宿舍内严禁人不在场的情况下使用电炉、电水壶、电热毯等高度危险用电设备。 （3）、师生不得在