杂质半导体的载流子浓度..docVIP

杂质半导体的载流子分布 摘 要：非简并杂质半导体的载流子浓度和费米能级由温度和杂质浓度所决定。对于杂质浓度一定的半导体，随着温度的升高载流子则是从以杂质电离为主要来源过渡到以本征激发为主要来源的过程，相应地，费米能级则从位于 杂质能级附近逐渐移近禁带中线处。费米能级的位置不但反映了半导体导电类型而且还反映了半导体的掺杂水平。 关 键 词：费米能级；状态密度；能量态；非简并结构；玻尔兹曼分布函数 引 言： 实践表明，半导体的导电性强烈地随温度而变化。实际上这种变化主要是由于半导体中载流子浓度随温度变化而变化所造成的。因此，要深入了解半导体的导电性及其他许多性质必须探求半导体中载流子浓度随温度变化的规律，以及解决如何计算一定温度下半导体中热载流子浓度的问题。半导体材料中总是含有一定量的杂质，所以研究杂质半导体的载流子分布具有重要意义。 为计算热平衡状态载流子浓度以及求得它随温度变化的规律，我们需先掌握两方面的知识：第一，允许的量子态按能量如何分布；第二，电子在允许的量子态中如何分布；然后根据量子统计理论[1]、电子的费米分布函数f（E）及数学计算得到非简并杂质半导体的载流子浓度。在求解过程中用到了电中性条件，由于得到数学表达式较为复杂，因此人们以温度T为划分标准，划分为几个不同温度区域来近似讨论。分区是一种非常有用的方法，往往能够使非常复杂的问题进行简化并得到理想的结果。 1 费米能级 1.1 状态密度 概念：假定在能带中能量E~（E+dE）之间无限小的能量间隔内有dZ个量子态，则状态密度g(E)为 。物理意义是：状态密度g(E)就是在能带中能量E附近每单位能量间隔内的量子态数。 在k空间中，以|k|为半径作一球面，等能面是球面的情况下，通过计算可得到，导带低附近状态密度g(E)为[2] （1.1） ，其中导带低电子有效质量。 同理，价带顶附近状态密度 （1.2） 1.2 费米分布函数和玻尔兹曼分布函数 根据量子统计理论，服从泡利不相容原理的电子遵循费米统计规律。对于能量为E的一个量子态被电子占据的概率f(E)为[3] （1.3） 当时有，所以式（1.3）可变为 （1.4） 令,则 [4] （1.5） 称为电子的玻尔兹曼分布函数。 式（1.3）、（1.4）中的称为费米能级，它和温度、半导体材料、杂质浓度和能量零点的选取有关，这是一个非常重要物理参数。正如前面所说，费米能级的位置不但反映了半导体导电类型而且还反映了半导体的掺杂水平。将半导体中大量电子的集体看成一个热力学系统，由统计理论证明[1]，费米能级是系统的化学式，即 ,代表系统的化学势，F是系统的自由能。该式的物理意义是： 当系统处于热平衡状态，也不对外界做功的情况下，系统中增加一个电子所引起系统自由能的变化，等于系统的化学势，也就是等于系统的费米能级。 一般可以认为，在温度不是很高的条件下，能量大于费米能级的量子态基本上没有电子占据，而能量小于费米能级的量子态基本上为电子占据，而电子占据费米能级的概率在各种温度下总是1/2。 2 杂质半导体的载流子浓度 2.1 导带中的电子浓度和价带中的空穴浓度 思想：在能量E~(E+dE)之间有个量子态，而电子占据能量为E的量子态的概率是f(E),则在能量E~(E+dE)之间有个被电子占据的量子态，即有个电子。然后把能量区间中的电子数相加就能得到能带中的电子总数，再除以半导体体积就能得到导带中的电子浓度。 在非简并情况下，能量~(E+dE)间的电子数dN为 把式（1.1）、（1.5）代入上式得： 那么单位体积中的电子数为 （2.1） 对上式积分，可算得热平衡状态下非简并半导体的导带电子浓度n0为 （2.2） 积分上限是导带顶能量。通过引入变数及计算，最终可解得： （2.3） 式中，称为导带的有效状态密度。 同理，热平衡状态下，非简并半导体的价带中空穴浓度为 （2.4） 其中，，称为价带的有效状态浓度。 从式（2.3）、（2.4）可知，导带中电子浓度和价带中空穴浓度随着温度T和费米能级的不同而变化。 2.2 杂质能级上的电子和空穴 可以证明[2~3]电子占据施主能级的概率是： （2.5） 空穴占据受主能级的概率是： （2.6） 式中的的事施主级的基态简并度，是受主能级的基态简并度。一般情况下，=2，=4。 由于施主浓度ND和受主浓度NA就是杂质的量子态密度，那么可得到： 施主能级上的电子浓度nD为： （2.7） 受主能级上的空穴浓度pA为： （2.8） 那么根据式（2.3）、（2.4）可以得到： 电离施主浓度为： （2.9） 电离受主浓度为 （2.10） 2.3 n型半