ITO-LCD后处理-测试..docVIP

ITO導電玻璃入門知識 ITO表面處理方法 ITO玻璃技術之SiO2阻擋膜層規格 ITO導電玻璃入門知識 2006-5-30 -------------------------------------------------------------------------------- ITO導電玻璃是在鈉鈣基或矽硼基基片玻璃的基礎上，利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫（俗稱ITO）膜加工製作成的。液晶顯示器專用ITO導電玻璃，還會在鍍ITO層之前，鍍上一層二氧化矽阻擋層，以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內液晶裏擴散。高檔液晶顯示器專用ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進行拋光處理，以得到更均勻的顯示控制。液晶顯示器專用ITO玻璃基板一般屬超浮法玻璃，所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。因此，最終的液晶顯示器都會沿浮法方向，規律的出現波紋不平整情況。 在濺鍍ITO層時，不同的靶材與玻璃間，在不同的溫度和運動方式下，所得到的ITO層會有不同的特性。一些廠家的玻璃ITO層常常表面光潔度要低一些，更容易出現“麻點”現象；有些廠家的玻璃ITO層會出現高蝕間隔帶，ITO層在蝕刻時，更容易出現直線放射型的缺劃或電阻偏高帶；另一些廠家的玻璃ITO層則會出現微晶溝縫。 ITO導電層的特性： ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下，氧化銦透過率高，氧化錫導電能力強，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過率的導電玻璃。由於ITO具有很強的吸水性，所以會吸收空氣中的水份和二氧化碳並產生化學反應而變質，俗稱“黴變”，因此在存放時要防潮。 ITO層在活性正價離子溶液中易產生離子置換反應，形成其他導電和透過率不佳的反應物質，所以在加工過程中，儘量避免長時間放在活性正價離子溶液中。 ITO層由很多細小的晶粒組成，晶粒在加溫過程中會裂變變小，從而增加更多晶界，電子突破晶界時會損耗一定的能量，所以ITO導電玻璃的ITO層在600度以下會隨著溫度的升高，電阻也增大。 ITO導電玻璃的分類： ITO導電玻璃按電阻分，分為高電阻玻璃（電阻在150~500歐姆）、普通玻璃（電阻在60~150歐姆）、低電阻玻璃（電阻小於60歐姆）。高電阻玻璃一般用於靜電防護、觸控螢幕製作用；普通玻璃一般用於TN類液晶顯示器和電子抗干擾；低電阻玻璃一般用於STN液晶顯示器和透明線路板。 ITO導電玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等規格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等規格，厚度在0.5mm以下的主要用於STN液晶顯示器產品。 ITO導電玻璃按平整度分，分為拋光玻璃和普通玻璃。 影響ITO玻璃性能的主要參數： 長度、寬度、厚度及允差（±0.20） 垂直度（≤0.10%） 翹曲度（厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%） 微觀波紋度 倒邊 C倒邊（0.05mm≤寬度≤0.40mm） R倒邊（0.20mm≤寬度≤1.00mm，曲率半徑≤50mm） 倒角（浮法方向2.0mmX5.0mm；其餘1.5mmx1.5mm） SIO2阻擋層厚度（350埃±50埃，550nm透過率≥90%） ITO層光學、電學、蝕刻性能（蝕刻液：600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3）：見表1-1。 表1-1 化學穩定性： 耐鹼為浸入600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘後，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。 耐酸為浸入250C、濃度為6%鹽酸溶液中5分鐘後，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。 耐溶劑為在250C、丙酮、無水乙醇或100份去離子水加3分EC101配製成的清洗液中5分鐘後，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。 附著力：在膠帶貼附在膜層表面並迅速撕下，膜層無損傷；或連撕三次後，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。 熱穩定性：在3000C的空氣中，加熱30分鐘後，ITO導電膜方塊電阻值應不大於原方塊電阻的300%。 外觀質量： 裂紋：不允許。 粘附物：包括塵粒、玻璃碎等凸起物，TN型ITO導電玻璃鍍膜面不允許有不可去除的高度超過0.1mm的粘附物；STN型ITO導電玻璃鍍膜面不允許有不可去除的高度超過0.05mm的粘附物。 沾汙：不可有不溶于水或一般清洗劑無法除去的沾汙。 崩邊：長X寬≤2.0mmx1.0mm；深度不超過玻璃基片厚度的50%；總長度≤總邊長的5%。 劃痕：見表1-2。 表1-2 玻璃體點狀缺陷：包括氣泡、夾雜物、表面凹坑、異色點等。點狀缺陷的直徑定義為：d=(缺陷長+缺陷寬)/2。見表1-3。 表1-3 玻璃體線狀缺陷(寬度W)：包括玻筋、光學變形見表1-4。 表