W-FAC-COM-030 Rev.003洁净室运行指导W-FAC-COM-030 Rev.003洁净室运行指导.doc

Document Control Document number: W-FAC-COM-030 Subject: Clean room operation Instruction 标题:洁净室运行指导 Fujisawa reference No: N/A Revision 版本 : 003 Prepared by 起草人: 郑辉 Department 部门 : Facility/FM Content Subject Page 1.0 目的Purpose 3 2.0 范围Range 3 3.0 职责Duty 3 4.0 定义Definition 3 5.0 程序Procedure 3 6.0 相关资料Relative Data 6 7.0 记录Records 6 1.0 目的Purpose 规范运行、操作程序，确保日立设施管理的流畅。 Standardized operation procedure to ensure smooth flow in facility operation management in HGSP. 2.0 范围Range 适用于日立龙岗工厂洁净室系统。 For HGSP Clean Room system. 3.0 职责Duty 运行技术员：负责洁净室运行参数的监控。 Operation technician: monitor operation parameters in Clean Room. 运行班长：带领本班组技术员对日立龙岗工厂的设施运行进行监控，发现问题、解决问题，并按照汇报程序及时向上级汇报。 Shift Leader: Lead technicians in monitoring HGSP facility operation, discover and solve issue, report to supervisor according to report procedure. 工程师：负责运行操作程序的编写、更新、培训，对运行操作提供技术支持，发现问题、分析问题、解决问题，并按照汇报程序及时向上级汇报； Engineer: Write and update operation procedure. Train technicians, discover analyze and provide solution to the issues, report to supervisor according to reporting procedure. 4.0 定义Definition RAU Recycle Air Unit 循环空气机 FFU Fan Filter Unit 风机过滤机 AHU Air Handling Unit 空气处理机 MAU Make up Air Unit 新风机 DCP Dry Coil Pump 三次泵 RAS Return Air System 回风廊 5.0 程序Procedure 5.1 系统简介：system brief introduction: 本系统包括3台新晃新风处理机，设备安装在A栋一层新风机房，3台并列运行；82台 RAU，设备安装在A栋洁净室的回风廊处；4173台FFU，设备安装在洁净的天花板上；1台AHU设备安装在干鞋区的天花板上；10台传递窗，设备安装在洁净室内；26台风淋室，2个风淋通道；6台排风机，设备安装在A栋一层新风机房。系统的作用:MAU将室外新风经过滤，预热，加湿，冷却除湿，加压，加热及化学过滤处理后送入洁净室内的高架地板下，FFU将回风廊处的风加压，经过高效过滤器过滤后送入洁净室内，吹到高架地板下，和新风混合后被吸入RAU内经过表冷器处理。6台排风机，将生产中产生的废气排到室外。AHU将为干鞋区提供热风，将洗干净的洁净鞋吹干。风淋室和风淋通道在工作人员进入洁净室时吹净工作人员身上的灰尘。 There are 3 MAUs running parallel in MAU Room of Building A. 82 RAUs been installed in RAS in the clean room of Building A. 4173 FFUs been i