《晶体硅太阳能电池生产线清洗制绒工序.ppt

confidential confidential 晶体硅太阳能电池生产线 清洗制绒工序培训 王大男 光伏电池评测中心 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 目录 1、清洗制绒的作用及方法； 2、清洗制绒的工艺设备及操作流程； 3、主要检测项目及标准； 4、常见问题及解决方法； 5、未来工艺的发展方向； Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 1、清洗制绒的作用及方法 太阳电池生产流程： 清洗制绒 扩散 去PSG 印刷 刻蚀 PECVD 硅片 烧结 电池 电池生产线 硅片生产线 组件生产线 清洗制绒作为太阳电池生产中的第一道工序，其主要作用有两个： 损伤层 1）祛除硅片表面的杂质损伤层：损伤层是在硅片切割过程中形成的表面（10微米左右）晶格畸变，具有较高的表面复合。 2）形成陷光绒面结构：光线照射在硅片表面通过多次折射，达到减少反射率的目的。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 绒面制作方法： 目前，晶体硅太阳电池的绒面一般的是通过化学腐蚀的方法制作完成，针对不同 的硅片类型，有两种不同的化学液体系： 1、清洗制绒的作用及方法 2）多晶硅绒面制作： 多晶硅绒面 单晶硅绒面 1）单晶硅绒面制作： Si+2NaOH+H2O →Na2SiO3 +2H2↑ 此反应为各向异性反应，也是形成金字塔绒面的原因 3Si+4HNO3 →3SiO2+4NO+2H2O SiO2+4HF→SiF4+2H2O SiF4 +4HF→H2SiF6 此反应为各向同性反应，形成蠕虫状绒面 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 绒面反射率： 1、清洗制绒的作用及方法 制绒前：硅片表面的反射率一般为20%左右； 制绒后：单晶的反射率可降至10% ；多晶可降至15 %； 清洗制绒可有效提升对光线的吸收效率，提升电池性能。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 2.1 单晶硅制绒设备 设备架构： 槽式制绒设备，分为制绒槽、水洗槽、喷淋槽、酸洗槽等。 设备特点： 可根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元； 清洗功能单元模块化，各部分有独立的控制单元，可随意组合； 结构紧凑，净化占地面积小，造型美观、实用，操作符合人机工程原理。 生产能力： 边长125：1000pcs/h 边长156： 2、清洗制绒的工艺设备及操作流程工艺 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 槽体布局及工艺： 操作方向 作用 溶液 温度 时间 辅助 1#槽 去杂质颗粒 纯水 60℃ 300S 超声 2#槽 去杂质颗粒 纯水 60℃ 300s 3#槽 形成金字塔绒面 IPA、添加剂、NaOH 78℃ 900s 鼓泡 4#槽 形成金字塔绒面 IPA、添加剂、NaOH 78℃ 900s 鼓泡 5#槽 去除碱液 纯水 常温 180s 喷淋 6#槽 去除金属杂质 盐酸 常温 180s 7#槽 去除酸液 纯水 常温 180s 喷淋 8#槽 使硅片更易脱水 氢氟酸 常温 180s 9#槽 去除酸液 纯水 常温 180s 水槽 水槽 制绒槽 制绒槽 2、清洗制绒的工艺设备及操作流程工艺 上片 水槽 水槽 水槽 HCL槽 HF槽 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Prof