《薄膜课件绪论.pptVIP

中南大学物理学院 薄膜物理与制备技术 (Thin films physics and prepare technologies) 第一章 薄膜的基本概念及应用 薄膜的研究背景 人类对自然的认识及加工技术的发展 米----毫米----微米----纳米 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 What is a thin film ? 二维材料： thin = less than about one micron ( 10,000 Angstroms,1000 nm) film = layer of material on a substrate 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 在微电子工业中的应用 集成电路制造的关键环节，要反复用到 薄膜技术 薄膜技术是微电子技术的基础，促进了器件的小型化 晶体管在制造，器件的互连，金属导电薄膜，钝化膜以及封装等均须用到薄膜技术 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 薄膜表征技术的新进展 Carbon60 on the Cu Surface Molecular abacus Co on the Pt Surface 5 nm Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. Atomic Force Microscopy = AFM 观察薄膜表面形貌，精度可达纳米级 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. * 中南大学物理学院 /64 * 杨邦朝等,薄膜物理与技术,电子科技大学出版社 1994 陈国平 薄膜物理与技术，东南大学出版社，1993 郑伟涛 薄膜材料与薄膜技术 化学工业出版社出版社, 2004 教学内容和目标 主要讲述薄膜的基础知识及应用，真空技术基础，薄膜制备方法，形成机制和原理以及薄膜各项物理性能和分析方法等。 通过本课程学习，使学生掌握薄膜基础知识，了解薄膜材料的制备技术及检测手段，为从事相关科研和生产工作奠定基础。 参考教材 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 提纲 第一章 薄膜的基本概念及应用 第二章 真空技术基础 第三章 薄膜的制备技术 实验 第四章 薄膜的形成和生长 第五章 薄膜的表征 第六章 常用的薄膜材料简介 实验 考试 薄膜物理与制备技术 (Thin films physics and prepare technologies) Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 米(尺)年代远古时代,14-18世纪的手工工场技术 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 毫米(1/1000米)时代18-19世纪以蒸气机为代表的第一次工业革命 毫米技术导致20世纪初叶 一系列重大发现: 电子 电磁波 X-射线 电灯 电话 真空管 世界上第一只 半导体晶体管 (1947年,贝尔 电话研究所) Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. C