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工艺过程控制的计量要求(测量管理体系认证)
工艺过程控制的计量要求 编号 序号
工艺名称 工艺文件编号 测量要求提出部门 计量要求确认部门
序号 要求测量参数的名称 要求测量参数的质量特性
要求测量参数的重要程度 转化为计量要求 对应测量过程规范编号 公差 允许变化范围 最大(或最小)值 允许误差 其他 最大允许误差/允许不确定度 测量范围 稳定性 分辨力 其他 编制: 审核:
注 1、测量要求来源是指在工艺文件中规定的要求。 2、要求测量的参数是可测量的物理量或化学量等。 3、要求测量参数的质量特性是指被测量参数的公差、允许变化范围、允许最大(或最小)值、允许误差等。 4、重要程度是指因为测量结果的不准确可能会产生的风险程度。
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