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主题 引擎共焦调整 文件编号 版本 发文日期 页码 文件类型 修订状态 描述 页码 修订 本次发布原因 首次发布 1-8 首次发布 程序项目 程序内容 页码 1-5 2 调各引擎共焦 6-7 版本变更记录 版本 修订原因 修订目的 修订日期 □总裁办 □总经办 □财务部 □资材部 □人事行政部 □品保部 □系统生产部 □光源生产部 □工程部 □研发中心 □销售部 □项目部 □采购部 □电控生产部 □全公司 编写： 审核： 核准： 内容描述 名 称 及 牌 号 用量 1 各引擎焦距测量 1.1进入主控机，桌面打开软件“AdvanLDI”，usename： control password： test。单击Stages按钮初始化，初始化完成后Stage方块变成绿色。 AdvanLDI界面 主控机 1 各引擎焦距测量 1.2在“AdvanLDI”工具栏单击“”或菜单栏单击“Tools”然后选择“Stage Control”，弹出“Stage Control”平台控制界面。调整X、Y、Z轴坐标，使引擎和机台的位置适中。 Stage Control 界面 引擎和机台 主控机 1 各引擎焦距测量 1.3进入1号服务器，桌面打开软件“DataSvr”，发“+”字图，步骤如下： 中输入46，9985，按“Write”按钮； 中输入46，按“Read”按钮； 单击“16K BMP...”，找到D盘wordspace文件夹的“pattern-3”文件双击。 DataSvr界面 服务器 1 各引擎焦距测量 1.4切换到主控机，在“AdanvanLDI”工具栏单击“”或菜单栏单击“Tools”然后选择“Laser Control”，弹出“Laser Driver Control”激光控制界面，参数设置： 选择1号激光ID，1、2、3、4、5号引擎对应的激光ID是0、1、2、3、4。 设置1号激光的电流值，值一般设为26左右。 打开1号激光，Switch on/off是打开或关闭激光的按钮（方块绿色时代表打开） Laser Driver Control界面 主控机 1 各引擎焦距测量 1.5 把CCD和显示器接好线通电，把CCD放在1号引擎下方： 移动CCD使得显示器显示“+”字，然后轻微移动CCD使得“+”字中心在显示器的中心附近。 用Stage Control界面微调X、Y轴坐标，使得“+”字中心和显示器的中心重合。 用Stage Control界面调整Z轴坐标，使得“+”字最清晰，记录1号引擎此时的Z轴坐标。 1.6同理，测得其他引擎“+”最清晰时的Z轴坐标。 CCD 显示器 CCD放在引擎下方 “+”字移到中心 调节Z轴使得“+”字最清晰 主控机 CCD，显示器 2 调各引擎共焦 2.1 比较各引擎Z轴坐标值，选取Z轴值为中间的引擎（有时可能选最小值或最大值，视情况而定）为基准调各引擎共焦。这里选2号引擎为基准举例说明。 各引擎共焦定义：在相同的Z轴位置，各引擎成像质量达到最好。 2.2 首先把作为基准的2号引擎的小基板上M6规格螺钉（共有六个螺钉孔）用内六角扳手锁死。然后用内六角扳手锁死小基板的上下方调节块中竖直的M6规格螺钉。 2.3 再按工序1的方法测得2号引擎成像质量最好时的Z轴坐标。 2.4移动CCD看图像的四个角的成像是否也是最好，否则稍微松开小基板上的M6螺钉，再调节上下调节块的螺钉使得图像四个角和中心的成像质量都达到最好。锁紧上下调节块螺钉，锁紧小基板的螺钉（锁紧螺钉过程也要观看图像，以防出现变化），记录Z轴坐标。 备注1：调节块中竖直螺钉的调节方法：下方螺钉顺时针旋转是使引擎向上移动，上方螺钉螺钉顺时针旋转是使引擎向下移动。若想使引擎向上移，首先逆时针旋转上方螺钉使之稍微松开，再顺时针旋转下方螺钉使引擎向上移，调好后也要把上方螺钉顺时针锁紧。若使引擎向下移，同理。 2 调各引擎共焦 2.5 调1号引擎与2号引擎共焦： 若1号引擎的Z轴坐标值比2号的大，则1号引擎需往下移动，小则向上移动。 平台的Z轴设定为2号引擎测得的Z轴坐标值，打开1号引擎光源，把CCD放在1号引擎下方找到“+”字，移到中心。 稍微松开1号引擎的小基板上的螺钉，旋转上下调节块中的竖直螺钉（方法参考2.4节和备注1），四角和中心成像质量达到最好后锁紧调节块中的竖直螺钉，再锁紧小基板上的螺钉（锁紧螺钉过程也要观看图像，以防出现变化）。 2.6同理，调其他引擎与2号引擎共焦。 平台 备注2: Z轴坐标原点在最高点，Z轴坐标值越大代表引擎越靠近机台平面。 中山新诺科技有限公司 主题 各引擎共焦调整1 / 2 Form No: AT01-20401-02（A1） -