NF3气体.docVIP

Safetygram-28安全程序-28 Nitrogen Trifluoride (NF3) Safe Handling Practices 三氟化氮(NF3)安全操作实践 1. General概述 三氟化氮（NF3）是有毒、无色、无嗅、不可燃的氧化性压缩气体。NF3具有在室温条件下相对容易使用和可以用作氟化剂的优点。由于这些因素，它在许多应用中获得了广泛的认可。由于它的优点，如高蚀刻率、高选择性、无碳蚀刻和最小限度的残留污染，电子工业把它用在等离子和热清洁应用中。由于它相对于氟气更容易使用，NF3在高能化学激光器中用作氟源。在特殊化学品的生产中NF3还用作媒介。 NF3有多种等级，由于Air Products发展的先进的净化技术，还有纯度超过的99.999 %的NF3。表1列出了NF3的物理和化学性质。 2. Key Considerations关键的考虑 Health Effects对健康的影响 皮肤接触NF3是没有危险的。对于眼睛和黏膜，它是一个相对程度较轻的刺激物。 过量吸入NF3会导致血色素转化成高铁血红蛋白。高铁血红蛋白的形成减少了身体组织可以得到的氧的数量。这会导致化学黄萎病、头痛、眩晕、虚弱、昏聩和其它伴随着氧气供应减少的表现。作为高铁血红蛋白症的次要影响，会发生溶血性贫血、脾扩大和肝、肾、心肌的病变，这些影响是不可逆转的。在NF3暴露停止后，高铁血红蛋白转化回血红素。高铁血红蛋白症会在几个小时后自动消失，而溶血性贫血需要几个星期才能解除。 Toxicological Properties毒物学性质 Inhalation吸入 LC50 = 6,700 ppm (1 hour小时) rat鼠 对于测试的所有物种，急性暴露于高浓度NF3的直接影响是大范围高铁血红蛋白形成和并发的组织缺氧。随后的通常是会导致肝、肾、脾和有时候的心脏病变的溶血性贫血。在已经吸入了NF3的狗和猴子身上还观察到了呕吐。 老鼠通过吸入暴露在100 ppm NF3 中连续19周，每周5天，每天7小时，导致了肝和肾的轻微到中度的病变。没有注意到其它影响。这些长时间的暴露没有在被测试老鼠的总体外观、牙齿外观、活动性、生长、死亡率、血液、血清化学性质或牙齿和骨骼的氟含量方面产生任何可测量的变化。 已经发现，在细菌细胞内NF3是轻微的诱导有机质突变的物质，而在动物细胞和整个动物测试系统内NF3不会诱导有机质突变。 Exposure Levels暴露水??? 国家科学院—国家研究理事会毒物学委员会已经推荐的NF3紧急暴露极限(EEL)为22,500 ppm。这是基于实际测量的。该测量显示，大到30,000 ppm x min的暴露不会在实验室动物身上导致对健康的负面影响，而当暴露达到120,000 ppm x min时确实发生了贫血。 EEL是这样一个浓度，在此浓度下不会导致一段时间的无力或妨碍完成任务。虽然在这种水平的暴露可能导致伤害，但伤害是可逆的。EEL代表了一个既考虑了暴露时间又考虑了暴露发生时的浓度的累积的暴露极限。任何小于22,500 ppm x min的推荐水平的暴露时间和浓度的组合都是可以接受的。表2说明了在22,500 ppm x min的EEL下，对于空气中不同的NF3浓度可以接受的暴露时间。 美国政府工业卫生学者会议把NF3的TLV-TWA (10 ppm或29 mg/m3[ACGIH,1997])设定为前面在“毒物学性质”下引用的19周研究的测试水平的十分之一。 表3、4和5提供了用于晶片制造的常用气体的关于TLV-TWA水平、立即危及生命和健康的浓度水平、剧毒LC50水平的详细资料。 Table 1 Physical and Chemical Properties表1 物理和化学性质 (NF3 is a colorless gas. Trace quantities of impurities can impart a musty or pungent odor to the gas.) NF3是无色气体。痕量的杂质会使气体带有一种霉味或刺激性气味。 Melting Point熔点 –340.2°F (–206.8°C) Boiling Point沸点 –200.2°F (–129°C) Critical Temperature临界温度 –38.5°F (–39.3°C) Critical Pressure临界压力 44.02 atm (4.46 MPa) Liquid Density液体密度 (atm at Boiling Point在沸点) 97.13 lb/ft3(1554 kg/m3) Gas Density气体密度 (atm, 70°F) 0.184 lb/ft3(2.95 kg/m3) Heat of Vap