半导体压阻式传感器.pptVIP

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2016-07-20 发布于广东
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半导体压阻式传感器.ppt

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半导体压阻式传感器 ;1 基本原理;1.1 特点及应用范围;1.2 制作方法;2 半导体的压阻效应 ;2.1 半导体的电阻变化 ;2.2 压阻系数;3 半导体压阻式传感器应用 ;3.1 扩散型压阻式压力传感器 ;3.1.1 硅杯式结构;3.1.2 硅杯式变换器原理;3.1.3 压阻式压力传感器 ;3.1.4 压阻式压力传感器原理;3.2 扩散型压阻式加速度传感器 ;3.2.1 加速度传感器结构及原理;3.2.2 加速度测量原理;3.2.2 输入输出关系