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单晶炉各动作电机及限位认识学习 ——白永清 籽晶升降电机 电机编号:M4 电源开关:CP6 驱动器4# :DRV4 型号:BXD200A-C 驱动器电源:AC 220V 电机型号:BX6200CM-5 电机功率:200W 谐波减速器:5:1 (BK2-电磁刹车 EC2-电磁离合器) 谐波减速器接线:(51, 52 ,24N3)继电器CR9 PLC输出控制模块:SL33A015-5E PLC模拟量模块: SL33A017-2F 籽晶旋转电机 电机编号:M3 电源开关:CP5 驱动器3# :DRV3 型号:BXD200A-C 驱动器电源:AC 220V 电机型号:BX6200C-30 电机功率:200W 电机内部减速:30:1 PLC输出控制模块:SL33A015-5F PLC模拟量模块: SL33A017-2P 上炉体旋转电机 电机编号:M8 电源开关:CP2 变频器:INV2 型号:E2-2P2-H1 0.2KW 继电器:CR2 正转)、CR3 反转)、CR4 复位) 接触器:MC4 电压:3相 AC 220V 功率:0.2KW 外壳:保护接地 隔离阀转动电机 电机编号:M7 电源开关:CP2 继电器:CR5 电机型号:2RK6GN-C 减速器:铝合金15:1 电压:AC 220V 功率:6W 熔断器:F2 外壳:保护接地 中炉体旋转电机(选配) 电机编号:M9 电源开关:CP2 台安变频器:INV2 型号:E2-2P2-H1 0.2KW 小 继电器:CR2 正转)、CR3 反转)、CR4 复位) 接触器:MC5 电压:3相 AC 220V 功率:0.2KW 外壳:保护接地 上炉体升降电机 电机编号:M5 电源开关:CP1 变频器:INV1 型号:FR-S520S- 0.75KW 继电器:CR10 正转)CR11 反转)CR13 复位) 接触器:MC2 电压:3相 AC 220V 功率:0.75KW 电磁刹车 B 型号:LPTB2000M4(失电抱死) 中炉筒升降电机 电机编号:M6 电源开关:CP1 三菱变频器:INV1 型号:FR-S520S- 0.75KW 大 继电器:CR10 正转)CR11 反转)CR13 复位) 接触器:MC3 电压:3相 AC 220V 功率:0.75KW 电磁刹车 B 型号:LPTB2000M4 (失电抱死) 坩埚旋转电机 电机编号:M1 电源开关:CP3 驱动器1# :DRV1 型号:BXD200A-C 驱动器电源:AC 220V 电机型号:BX6200C-50 电机功率:200W 电机内部减速:50:1 PLC输出控制模块:SL33A015-5C PLC模拟量模块: SL33A017-2F 坩埚升降电机 电机编号:M2 电源开关:CP4 驱动器2# :DRV2 型号:BXD200A-C 驱动器电源:AC 220V 电机型号:BX6200C-50 电机功率:200W 谐波减速器:5:1 (BK1-电磁刹车 EC1-电磁离合器) 谐波减速器接线:(57, 58 ,24N3)继电器CR8 PLC输出控制模块:SL33A015-5C PLC模拟量模块: SL33A017-2F 主泵电机 型号:Y160M-4 功率:11KW 电压:三相AC380V 电流:22.6A 转速:1460r/min 效率:88.4% 接法:“ ” 单晶炉限位开关(18个) 坩埚上限位 X0020 大红 坩埚下限位 X0021 大红 坩埚原点限位 X0022 大绿 籽晶上限位 X0023 红外对射 籽晶下限位 X0024 大红 籽晶原点限位 X0025 大绿 上炉体上限位 X0026 大红 上炉体下限位 X0027 大红 上炉体上升到位限位 X0028 大绿 上炉体下降到位限位 X0029 大绿 上炉打开到位限位 X002A 中红 上炉打开到位限位 X002B 中红 隔离阀、中炉体限位 隔离阀打开限位 X3C 隔离阀关闭限位 X3D 小红(右关左开) 中炉体上升过程限位 X69 大红 中炉体下降过程限位 X6A 大红 中炉体上限位 X6B 大绿 中炉体下限位 X6C 大绿 谢谢 * * 晶升电机 上炉升降电机 上炉开闭电机 中炉升降电机 晶转电机 埚转电机 埚升电机 阀芯开闭电机 籽晶头 上炉筒 隔离阀 炉盖 中炉筒 机 下炉筒 架 坩埚 驱动 机构 方立柱 电机分布图 坩埚限位 籽晶限位 上炉体限位 *
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