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半导体的热平衡状态:半导体不受除温度以外的外界条件作用 的状态,载流子浓度是一定的, n0·p0= Nc·Nv e(-Eg/ k0T) = ni2 (5-1) 平衡载流子:处于热平衡状态下的载流子。 平衡载流子浓度:处于热平衡状态下的载流子浓度。 非平衡状态:半导体受到外界条件作用, 处于偏离热平衡的状态。 非平衡载流子:半导体处于非平衡状态时 比平衡状态多出来的这部分载流子。 非平衡载流子浓度:比平衡状态多出来的 载流子的浓度. 非平衡自由电子:Δn 非平衡自由空穴:Δp 非平衡多数载流子:与半导体多数载流子类型相同的非平衡载流子。 n型:非平衡电子Δn 。 P型:非平衡空穴Δp 。 非平衡少数载流子:与半导体少数载流子类型相同的非平衡载流子。 n型:非平衡电子Δp 。 P型:非平衡空穴Δn 。 电阻率为1Ω·cm的n型Si中,σ= nqμn p0 = ni2 / n0 n0≈5.5×1015cm-3; p0≈3.1×104cm-3; Δn =Δp=1010cm-3, Δn《n0; Δp是p0 的106倍,Δp》p0。 非平衡少数载流子起重要作用 附加电导率:Δσ=Δnqμn+Δpqμp (5-3) 非平衡载流子的测量: 附加电导率: Δσ=Δnqμn+Δpqμp (5-3) 可通过测量电导率,电压降的方法检 测非平衡载流子注入。 平衡载流子的注入(产生): 光照、电场、磁场。 非平衡载流子的复合 产生非平衡载流子的外部作用撤除后,半导体由非平衡状态回复到平衡状态,非平衡载流子逐渐消失的过程。 产生率:单位时间,单位体积内产生的电子-空穴对数目。 复合率:单位时间,单位体积内复合掉的电子-空穴对数目。 非平衡载流子的寿命τ:非平衡载流子的平均生存时间。 τ:非平衡载流子的复合几率的倒数。 复合几率:1/τ 复合率=Δn/τ或Δp/τ 净复合=复合率-产生率 稳定情况下:复合率=产生率=Δn/τ (1)直接复合: 电子从导带直接跃迁到价带的复合 τ = 1/ r[(n0+ p0)+Δp] (5-17) r:电子-空穴复合几率 小注入情况下: Δp远小于(n0+ p0),得: τ = 1/ r(n0+ p0) 对于n型半导体; τ = 1/ rn0 对于p型半导体:τ = 1/ rp0 寿命:复合几率;多数载流子浓度。 本征Ge和Si,理论计算: Ge: r=6.5×10-14cm-3/ s, τ=0.3s 实际:104μs Si: r=10-11cm-3/ s, τ=3.5s 实际:103μs 非平衡载流子寿命主要不是由直接复合决定,另外的一些复合机制起主要作用。 (2)间接复合:非平衡载流子通过禁带中的 能级(复合中心)进 行的复合。半导体杂质和缺陷越多,寿命越短。 小注入情况下: 对于n型半导体:τ=1/rpNt (5-38) rp:空穴俘获系数, Nt :复合中心浓度 对于p型半导体:τ=1/rnNt (5-40) rn:电子俘获系数, Nt :复合中心浓度 P127页: n型Si 中的金杂质 寿命主要由空穴俘获系数和杂质浓度决定 rp=1.15×10-7cm3/s Nt=5×1015 cm-3 τ=1/rpNt = 1.7×10-9s p型Si中的金杂质 rn=6.3×10-8cm3/s τ=1/rnNt = 3.2×10-9s 半导体杂质和缺陷越多,寿命越短。 控制杂质浓度和缺陷,可控制少数载流子的寿命。 半导体杂质和缺陷浓度低,少数载流子的寿命长。 (3)表面复合,俄歇复合。 表面状态好,少数载流子的寿命长。 陷阱效应:某些杂质或缺陷能级积累非平衡载流子的作用。 陷阱中心:有显著陷阱效应的杂质能级或缺陷。 陷阱效应大大增长了从非平衡态恢复到平衡态的时间。 电子陷阱:费米能级以上的能级,越接近EF,陷阱效应越明显。空穴陷阱:费米能级以下能
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