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基于plc控制的交流伺服电机在晶体生长设备中的应用
第23卷第2／3期 常州工学院学报 VoL23No．2／3 of Instituteof Jun．2010 Journal 2010年6月 Changzhou Technology 基于PLC控制的交流伺服电机在 晶体生长设备中的应用 过军 史建平 (常州-rq虢Eg子信息与电气工程学院．江苏常州213002) 摘要：为实现人工晶体生长设备中低速提拉种晶杆的控制要求，应用PLC控制的交流伺服电 机作为种晶杆的驱动，通过PLC与交流伺服驱动器的通信技术，可以准确地完成修改驱动器电子 齿轮比及其有关的参数，达到对驱动脉冲进一步细分，在提高精度的同时满足低速控制的目的。实 验表明，此方法对类似的控制也是行之有效的。 关键词：人工晶体；PLC；伺服电机；通信 中图分类号：TM383．4文献标志码：A The ofACServoMotorinthe Growth Application Crystal BasedonPLCControl Equipment GUOJunSHI Jianoping ofElectronicInformationElectric Institute (School Engineering，ChangzhouofTechnology，Changzhou213002) Abstract：Forthecontrol oflow forseedholderinthe realizing requirementspeed syntheticcrystal AC thePLCcontroldrivetheseedholderwas communi— SelVOmotorof growthequipment，the applied．The cation Was betweenPLCandtheACservocontroller．Themodificationcanbe technologyapplied parameter abouttheelectronicsratio．Thedrive Callbefurthersubdivided．Itsatis— accuratelyaccomplished gear pulse the the Wasraised．The resultsshowedthatthe fled oflow controlwhen purposespeed precision experimental methodisalsoeffectivetosimilarcontr01． Keywords：syntheticcrystal；PLC；servomotor；communication 机，并用触摸屏作为人机界面设定工作参数。解 O 引言
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