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* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * AFM即原子力显微镜是一种应用非常广泛的微纳测量设备,其通过测量针尖原子与样品表面原子的相互作用力来记录样品表面形貌,如果利用AFM针尖与样品表面发生相互作用,则可以达到加工的目的,是AFM成为一种精度较高的加工方法。 图为AFM阳极氧化制作的纳米线;图为AFM纳米操纵在硅表面制作的汉字;图为采用AFM进行高端光刻掩模版的修复,图中用AFM针尖去掉了一个多于的毛刺;图为一个微纳加工机床的夹具(holder),AFM在微纳切削加工方面也有广泛的应用。 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 电容测量法 微悬臂构成平行平板电容器的一块平板,而另一平板则平行地位于微悬臂的上方,微悬臂的偏转值将通过测量该电容器的电容值的变化得到。 电容法是常用微悬臂偏转检测法中精度稍差的一种。 AFM纳米加工技术 用AFM电子束在抗刻蚀聚合物材料上通过聚合反应产生的连续的纳米细线结构(美国斯坦福大学) AFM所具有的原子分辨的能力,使它在尺寸小于100纳米的结构加工中具有十分明显优越性 原子力显微镜( AFM)加工 掩模版修复 微纳机械加工 纳米操纵 AFM 微纳结构制造 (中科院物理所北京真空物理开放实验室提供)。 Wei Gaoa, Robert J. Hocken, John A. Patten, et al. 2000. B. Legrand, D. Deresmes, and D. Stie′venard, 2002. Tod Robinson, Andrew Dinsdale, Ron Bozak, 2008. 利用AFM制备纳米级模版 AFM 基于AFM的微纳尺度模板制备 Al Si 采用金刚石探针 采用Si探针 金刚石切削结合ICP刻蚀工艺 消除了波纹现象的侧壁 SPM技术关键 关于振动的影响(间距1nm) (电子)噪音的影响(原子分辨率0.01nm) 针尖的要求(纳米尺度) 对STM的特殊要求(样品) 纳米技术的应用 纳米技术 日常生活 纳米陶瓷 纳米催化剂 纳米电磁材料 纳米电子 纳米光学 纳米生物医学 纳米军事 纺织业 纳米微粒加入织物中可以消除静电、除味杀菌、抗紫外线、红外吸收 消除静电:静电效应放电、容易吸附灰尘。在织物中加入少量的金属纳米微粒,可以极大消除静电。 除味杀菌:采用抗菌可以避免纺织品因微生物的侵蚀而污染。 抗紫外线:纳米粒子吸收紫外光,防紫外线能力达98% 红外吸收:以纳米SiO2和纳米TiO2经适当配比制成的复合粉末作为纤维的添加剂,可进行红外屏蔽;纳米Al2O3、纳米TiO2、 纳米SiO2、纳米Fe2O3的复合剂具有很强的吸收红外频段红外线的特性。 纳米陶瓷 陶瓷材料在通常情况下呈脆性,并且只有在高温烧结,才能使其颗粒致密化。添加纳米粒子使常规陶瓷综合性能得到改善,提高陶瓷的韧性和降低陶瓷的烧结温度。 纳米陶瓷做的纳米滚珠韧性和硬度超过钢,具有永不生锈、永不腐蚀、耐磨、自润滑功能 纳米洁具 纳米玻璃 超硬、耐磨,可作为纳米宝石膜晶片,手机视屏,MP3等LCD保护屏 纳米铜粉末 纳米铜粉末可作为电磁屏蔽材料,厚膜导体,导电浆料导电聚合物,低温焊料,高频线路,润滑剂 深褐色粉末,粉末的颗粒形状为球形,粒径分布较窄。 ?一次颗粒平均粒径78nm/比表面积(SBET)4.4平方米/克/松装密度0.61克/立方厘米真密度8.87克/平方厘米/化学成分:铜含量高于99.4wt.% 纳米催化剂TiO2 电镜照片 纳米催化剂在水处理、净化空气、抗菌防霉、屏蔽紫外线等方面,都显示出很好的功能。纳米TiO2,使用安全,无毒无副作用,适用生活空间,确保人们拥有健康的生活环境。使用过程中不受光源限制,具有高效、彻底的降解环境中有毒污染物的效果。 ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 纳米电磁材料 纳米巨磁阻材料可使存储密度提高到20M字节,使磁存储技术获得新生。(磁电阻是指在一定磁场下电阻改变的现象) 纳米微晶软磁材料应用在功率变压器,脉冲变压器,高频变压器上成为铁氧磁铁的有力竞争者 纳米微晶稀土永磁材料使永磁材料的性能突飞猛进,软磁相和永磁相在纳米尺度范围内复合,就可能获得高饱和强度,高娇顽力的新型永磁材料 纳米磁致冷材料做磁致冷机,可用来拓宽致冷温区 纳米掠水机器人 美国
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