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HDI工艺培训
1 自动投板 酸洗 磨板段 （磨辘关闭） 高能量曝光 红底片复制 贴膜 外层干菲林前处理线 显影 沉镍金 退膜 锣板 电测、目检 OSP 目检 化学沉金前处理 ----经过化学沉金前处理后要保证CU面表面的氧化层去除干净。 ----完成此工序后由此线操作人员立刻送到外层干菲林线前处理 处。避免板流入沉金线。 外层干菲林工序 ----前处理处要把磨辘关闭，并使烘干温度达到最高90℃。 ----贴膜温度为115-120℃，预热温度为90-100℃。 ----干膜使用Dupont W-250干膜。 ----曝光尺：15-16格（21SST）。 沉金 ----上板时防止划伤干膜。 ----沉完金后把板拉到褪膜线进行褪膜。 褪膜 ----褪完膜后若发现板没有烘干，需要把板拉到水洗线水洗。 水洗线洗不掉的污渍拿到酸洗线洗。 OSP ----板返工最多2次。 IV.基本工具制作要求 1. 管位孔： 无埋孔，只经一次压板，需有两套管位孔，分 别用于钻板边孔与单元孔。 如： T2 B4 C4 T2 T1 T2 T1 T1 L2 T2 A4 A3 A2 A1 B1 B2 L3 C3 L1 C2 C1 T1 B3 1,00? 2,875? 2,875? 2,25? 2,875? 1.00? 2,25? 2,875? A4 A1.B1.C1.A3.C3.C2 B2 T1靶标设计为直径是0.5〃的圆无铜区，其中心为直径是0.08〃的圆铜点； T2靶标设计为直径是0.5〃的圆无铜区，其中心为直径是0.06〃的圆铜点。 板边非单元区域≥0.57〃 所有的靶标不得与任何工具孔重叠。 备注：（1）A3、A4、C3用于钻内层埋孔。 （2）B1、B2、C2用于钻外边板边孔。 （3）A1、A2、C1用于钻外层单元孔。 （4）L1、L3、L2相差400mil或以上 2、Conformal Mask菲林设计： L3
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