先进制造技术 李伟 第8章-压电驱动与控制技术新.pptVIP

2005-08 第8章 压电驱动与控制技术 第8章 压电驱动与控制技术 8.1 概 述 8.1.1 压电驱动与控制技术的形成与发展 8.1.1 压电驱动与控制技术的形成与发展 8.1.2 压电驱动器的原理与构成 8.1.2 压电驱动器的原理与构成 8.1.2 压电驱动器的原理与构成 8.1.2 压电驱动器的原理与构成 8.1.3 压电驱动器的特点及其应用 压电驱动器的优点 压电驱动器的优点 压电驱动器的优点 压电驱动器的缺点 压电驱动器的缺点 压电驱动器的结构种类与应用范围 8.2 压电马达 8.2.1 行波型压电马达 圆环型超声波行波马达 圆环型超声波行波马达 直线型行波马达 直线型行波马达 直线型行波马达 8.2.2 超声波驻波马达 两种振动组合型超声波驻波马达 两种振动组合型超声波驻波马达 同一种位移两个方向振动的组合型压电马达 同一种位移两个方向振动的组合型压电马达 同一种位移两个方向振动的组合型压电马达 同一种位移两个方向振动的组合型压电马达 间接激励的振动生成及其组合型压电马达 间接激励的振动生成及其组合型压电马达 间接激励的振动生成及其组合型压电马达 间接激励的振动生成及其组合型压电马达 双弯曲压电振子型驻波马达 双弯曲压电振子型驻波马达 双弯曲压电振子型驻波马达 8.2.3 非接触超声波马达 8.2.3 非接触超声波马达 8.2.3 非接触超声波马达 8.2.3 非接触超声波马达 8.2.3 非接触超声波马达 8.2.3 非接触超声波马达 8.3 压电泵 8.3.1 有阀压电泵 薄片型压电振子式有阀压电泵 薄片型压电振子式有阀压电泵 压电叠堆式有阀压电泵 压电叠堆式有阀压电泵 8.3.2 无阀压电薄膜泵 锥型管无阀压电泵 锥型管无阀压电泵 异型管无阀压电泵 异型管无阀压电泵 温控无阀压电泵 异型管无阀压电泵 8.3.3 压电超声泵 8.3.3 压电超声泵 8.3.4 多腔体有阀压电泵 多腔体压电泵的基本结构 多腔体压电泵的基本结构 多腔体压电泵的输出特性 多腔体压电泵的基本结构 多腔体压电泵的基本结构 8.4 压电开关阀与压电伺服阀 8.4.1 压电型前置驱动器 8.4.1 压电型前置驱动器 8.4.2 压电型高速开关阀 8.4.2 压电型高速开关阀 8.4.3 压电型电液伺服阀 8.4.3 压电型电液伺服阀 8.5 压电型精密驱动装置 8.5.1 直动式精密微位移驱动器 8.5.1 直动式精密微位移驱动器 8.5.1 直动式精密微位移驱动器 8.5.1 直动式精密微位移驱动器 8.5.2 步进式精密驱动器 工作原理 工作原理 工作原理 步进式直线位移精密驱动器 步进式直线位移精密驱动器 步进式旋转位移精密驱动器 步进式旋转位移精密驱动器 步进式多自由度精密驱动器 步进式多自由度精密驱动器 步进式多自由度精密驱动器 8.5.3 惯性冲击式精密位移驱动器 8.5.3 惯性冲击式精密位移驱动器 8.5.3 惯性冲击式精密位移驱动器 8.5.3 惯性冲击式精密位移驱动器 8.5.3 惯性冲击式精密位移驱动器 8.5.3 惯性冲击式精密位移驱动器 利用压电双晶片的惯性冲击式精密位移驱动器 利用压电双晶片的惯性冲击式精密位移驱动器 利用压电双晶片的惯性冲击式精密位移驱动器 中国农业大学 对于两腔串联压电泵，实测的单腔与双腔的输出压力、输出流量与激振电压的关系分别如图8-57与图8-58所示，输出流量与输出压力关系如图8-59所示，激振频率的影响关系如图8-60所示。 中国农业大学 中国农业大学 中国农业大学 8.4.1 压电型前置驱动器 8.4.2 压电型高速开关泵 8.4.3 压电型电液伺服阀 中国农业大学 中国农业大学 传统电液阀的电气-机械转换器采用的力矩马达或电磁马达由于受电磁转换能力、工艺的影响及尺寸等因素制约，响应速度难于进一步提高。而压电型电液阀是通过压电晶体的逆压电效应将电信号转换为机械变形，通过适当的执行机构进而形成驱动能力的，它与电磁式力矩马达比较，具有以下特点： 中国农业大学 结构简单、可靠 频率响应高 不产生磁干扰 控制精度高 输出力大 中国农业大学 日本名古屋大学利用PZT双晶片型压电驱动器，研制了一种响应频率较高、流量较大的高速开关阀。如图8-66所示。该阀通过控制一块双晶片型压电驱动器来关闭或打开不同的喷嘴以驱动锥阀运动.实际结果表明,该阀响应频率可达200Hz,在20Mpa系统压力时输出流量达9.24L/min。 中国农业大学 中国农业大学 日本于1992年提出了以压电叠堆为驱动力源的单级