TFT—LCD技术的研究进展与发展趋势.pdfVIP

维普资讯 第l9卷 第3期 固体 电子学研究与进展 Vo1．19，No 3 1999年 8月 RESEARCHPROGRESSOFSSE Aug，1999 《 1：) I／ TFT—LCD技术的研究进展与发展趋势 郑 康 铁 斌 唐宗良 去昌昌 —‘—i 电子器件研究所，210。l6) (东南…大学电子墨工程系，南京，，22了1100009966)7’／ 稿 提要 介绍 了近年来世界TFTLCD技术的研究现状 ，论述 了未来 TFT—LCD技术的发展趋 势 。 关键词；莲堕曼堡量 塑曼星重量 研究进展 发展趋势 、 1、LC 童禾 中圄分类号 ：TN321．5 TN141．8 Research Developm entand FurtherTrendsin TFT—LCDsTechnology ZhenKang TieBin TangZongliang ZhuChangchang (Na ngElectronicDevicesInstitute，210016，CHN ) ChenGuop[ng (Dept．o，ElectromcEngineering，SoutheastUniversity，Nanjing，210096．CHN) Abstract：ThispaperintroducestherecentresearchstatusofTFT LCDstech nology intheworld．ThefurtherdevelopmenttrendsinTFT—LCDstechnologyare reviewed． KeyW ords：Thin-film Transistor(TFT) Liquid—crystalDisplay(LCD) Re． search Developm ent FurtherTrend EEACC 14150D 2560Z 1 引 言 薄膜晶体笆建曼星重量 FTLcD)是近年来液晶显示技术领域研究最活跃的分支，也是 本世纪末最具竞争力的电子显示产品之一。众多厂商对TFT—LCD技术的研究感兴趣，是由于 其在显示性能方面的优越性决定的。与CRT显示技术相 比，TFT—LCD具有低工作 电压、微功 耗、体小量轻、无 x射线辐射 、适于 LSI驱动、易于实现全色视频图像显示等特点，使其在与 ·国家 九五 重点预研攻关项 目贷助 维普资讯 286 固 体 电 子 学 研 究 与 进 展 19卷 CRT显示 的竞争 中，具有 良好 的发展前景 。它与无源液 晶显示技术相 比，TFT—LCD通过给每 一 个像素提供一个 TFT开关元件，实现彼此独立地对每一像素寻址，克服了无源矩 阵在响应 速度 、灰度等级和更大显示容量上 的限制 。 但是随着 TFT—LCD 的大面积、高分辨率化 ，TFT—LCD 的制备工艺 日趋复杂 ，且开 口率 减小、缺陷率增大、成品率降低，加之本征视角狭小和温度性能较差的弱点，严重制约了TFT— LCD实际应用范围。因此近十年来 ，国外有关研究机构和生产厂商 ，纷纷投入 巨资，大力开展 微细加工技术和实用化技术的研究，并取得了许多突破性进展 ，促成 了TFT—ICD产品不断更