《雷尼绍激光干涉仪系统手册-线性测量》.pdfVIP

线性测量标题 页码，1/32 激光系统手册 线性测量 file://C:\Documents and Settings\Administrator\Local Settings\Temp\... 2010-12-9 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 ÿ 线性测量标题 页码，2/32 线性测量步骤 线性测量是最普通的激光测量形式。激光系统通过将轴读数器上显示的位置与激光系统测量的真实位置 相比较，测量线性定位精度和重复性。 本节内容将指导您进行机器线性轴定位精度校准的实践练习。 重要事项 — 请先阅读安全一节，再继续。 线性测量所需的步骤如下： 设定激光系统进行线性测量。 调整激光光束，使之与机器运动轴准直。 启动自动环境补偿功能，确保在软件中输入正确的材料膨胀系数。 警告 在线性测量中，强烈建议使用环境补偿。如果不使用环境补偿，空气条件变化会引起极大的测量误 差。 测量和记录机器的线性误差。 分析所采集的数据在按您选择的国家或国际标准进行分析之前，先使用 “所有数据图”，检查采 集数据的测量误差。在影响线性测量精度的因素一节中，我们对此进行了更深入的讨论。 规格参数 — 给出线性测量精度的全部规格参数。 线性测量设定 测量线性位置的典型系统设定如图 所示。选择设定图上的文字标签，获取有关该系统 件的更多信息。 1 file://C:\Documents and Settings\Administrator\Local Settings\Temp\... 2010-12-9 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 ÿ 线性测量标题 页码，3/32 图 — 测量位置的典型系统设定 1 “线性测量原理”一节介绍线性光学镜 的工作原理以及应如何设定以进行线性测量。 执行以下步骤，设定激光系统进行线性测量。 如果您尚未完成以上操作，则安装校准软件。 将线性光学镜组连接 要校准的机器上。不同机器配置的典型线性光学设定在线性测量一节中介 绍。 在三角架上安装 激光头。 XL 用 电缆将 激光头连接 机上。将电缆的一端插 激光头尾部的 插槽中，另一端插 USB XL PC XL USB PC 机上。对 补偿单元执行相似的操作。 XC 将环境传感器连接 XC补偿单元上。 将 补偿单元的空气传感器放在机器上或其周围的适当位置上。 XC 将材料温度传感器放在机器的适当位置上。 为安全起见，开始时 激光头的光闸应转至关闭位置，如下图 所