《北京暑期学校-麦振洪-lecture-4》.pdfVIP

LIGA 利用同步辐射获得 了边缘陡直、深宽 比高达100的光刻胶 X射线光刻 结构,充分体现了同 步辐射在微加工技 术中的优越性能. 0.1-0.3微米X射线光刻技术实用化研究 0.1-0.3 取得重要进展 中科院微电子中心成功 地研制出栅长0.15微米 的毫米波单元器件。在 取得技术全面突破的基 础上，研究重点转向以 毫米波单片集成电路 （MMIC ） 制作为目标 的实用化工艺技术研 究，在器件光刻的一些 关键工艺和关键技术上 取得了突破。成功地刻 TXRF技术分析Si片的 制了0.25微米T型栅和 杂质含量 0.1微米T型栅胶结构。 研制出栅长0.15微米的毫米波单元器件 微细加工：LIGA 技术 深度光刻 + 电铸+ 塑铸 医 学 应 用 42 吸收边 相位衬度成像技术 • 敏感性大1000倍 （相位改变） • 对软组织有非常高的衬度分辨率 • 明显减少人体吸收的辐射剂量并缩短成像时间 • 肌腱、软骨、韧带、神经和耳蜗等也具有极高 的分辨率（传统X线无法显示） • 无需使用造影剂，显示数十微米的血管，区分 肿瘤组织和正常组织 • 传统的影像学方法尽管使用了造影剂目前也还 无法显示200 μm 以下的血管 双色数值减除造影 • 显示巨大的医学应用前景 应用领域 ANGIOGRAPHY MRT PAT Tomo RADIATION THERAPY FUNCTIONAL COMPUTED LUNG TOMOGRAPHY IMAGING CARTILAGE MAMMOGRAPHY Courtesy W. Thomlinson Characterization of brain glioma tumour vascular X射线相衬成像—猴脑皮层血管成像 network in cortex (after inject