《《薄膜物理与技术要点总结》》.pdfVIP

第一章 最可几速率：根据麦克斯韦速率分布规律，可以从理论上推得分子速率在 处有极大值， v v m m 称为最可几速率 2kT 2RT 1.41 RT ,Vm 速度分布 m M M 平均速度: 8kT 8RT 1.59 RT ，分子运动平均距离 m m M 均方根速度: 3kT 3RT 1.73 RT 平均动能 m M M 真空的划分：粗真空、低真空、高真空、超高真空。 真空计：利用低压强气体的热传导和压强有关； (热偶真空计) 利用气体分子电离；（电离真空计） 真空泵：机械泵、扩散泵、分子泵、罗茨泵 机械泵：利用机械力压缩和排除气体 扩散泵：利用被抽气体向蒸气流扩散的想象来实现排气作用 分子泵：前级泵利用动量传输把排气口的气体分子带走获得真空。 平均自由程：每个分子在连续两次碰撞之间的路程称为自由程；其统计平均值成为平均自由程。 kT  常用压强单位的换算 1Torr=133.322 Pa 1 Pa=7.5×10-3 Torr 2 2 P 1 mba=100Pa 1atm=1.013*100000Pa 真空区域的划分、真空计、各种真空泵 粗真空 1×105 to 1×102 Pa 低真空 1×102 to 1×10-1 Pa 高真空 1×10-1 to 1×10-6 Pa 超高真空 1×10-6 Pa 旋转式机械真空泵 油扩散泵 复合分子泵 属于气体传输泵，即通过气体吸入并排出真空泵从而达到排气的目的 分子筛吸附泵 钛升华泵 溅射离子泵 低温泵 属于气体捕获泵，即通过各种吸气材料特有的吸气作用将被抽气体吸除，以达到所需真空。 不需要油作为介质，又称为无油泵 绝对真空计： U 型压力计、压缩式真空计 相对真空计： 放电真空计、热传导真空计、电离真空计 机械泵、扩散泵、分子泵的工作原理，真空计的工作原理 第二章 1.什么是饱和蒸气压？蒸发温度？ 1 饱和蒸气压：在一定温度下，真空室内蒸发物质的蒸气与固体或液体平衡过程中所表现出的 压力 -2 蒸发温度：物质在饱和蒸气压为 10 托时的温度。 2.克--克方程及其意义？ dP H 克-克方程 ，可以知道饱和蒸气压和温度的关系，对于薄膜的制作技术 dT T (Vg Vs) 有重要实际意义, 帮助我们合理地选择蒸发材料和确定蒸发条件. 3.蒸发速率、温度变化对其的影响？ 根据气体分子运动论，在气体压力为P 时，单位时间内碰撞单位面积器壁上的分子数量， 即碰撞分子流量（通量或蒸发速率）J： 在蒸发源以上温度蒸发，蒸发源温度的微小变化即可以引起蒸发速率发生很大变化。 4.平均自由程与碰撞几率的概念？ 气体分子处于不规则的热运动状态，每个