《《用薄膜测厚仪测量薄膜厚度及折射率》》.docVIP

材料物理实验报告 [实验原理3311”，即“Int. Time”值为3，“Sample”值为3， “Boxcar”值为1，“Data Ave.”值为1。 3 测厚仪出厂时，焦距已调好，近似认为出射为平行光，省略调焦步骤。在平台上放上参考 硅片，调节水平旋钮1，2，使软件界面“Power”值最大。即可认为样品表面和光束垂直。 4 调节光阑大小，试软件界面上左侧的坐标达到“4000”。 5 按下“Store Reference”来保存参考板曲线。 6 拿开硅片，按下“Store Dark”来保存暗噪声。 7 放上待测样品，调节水平旋钮1，2使“Power”最大。 8 点击“Scope Mode”切换为“Reflectance Mode”。 9 在“Measurement Setting”界面，从数据库中选择基底和薄膜的材料。 10 切换到“Measurement”界面，点击measure来测量。计算结束后，就会在结果栏 中显示测量结果了。 [数据记录与结论分析] 入射角为60度时： 快速法 绘图法 建表法 折射率 1.479 1.470 1.479 厚度/nm 178.10 180.00 178.10 入射角为65度时： 快速法 绘图法 建表法 折射率 1.481 1.480 1.481 厚度/nm 175.20 175.00 175.20 入射角为70度时： 快速法 绘图法 建表法 折射率 1.482 1.480 1.482 厚度/nm 173.30 174.00 173.30 求平均值： 结果为 折射率=1.479 薄膜厚度=175.80 nm [思考与收获] 通过实验，我们可以知道SGC-10薄膜测厚仪具有如下优点： 1? 非接触式测量，用光纤探头来接收反射光，不会破坏和污染薄膜； 2? 测量速度快，测量时间为秒的量级； 3? 可用来测薄膜厚度，也可用来测量薄膜的折射率n和消光吸收k； 4? 可测单层薄膜，还可测多层膜系； 5? 可广泛应用于各种介质，半导体，液晶等透明半透明薄膜材料； 6? 软件的材料库中整合了大量材料的折射率和消光系数，可供用户参考； 7? 内嵌微型光纤光谱仪，结构紧凑, 光纤光谱仪也可单独使用 湖南工业大学材料物理实验报告 1 姓名： 范丽晶 班级：应用物理071 学号： 07411200126 成绩： 指导老师