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2015-10-09 发布于河南
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www.thinkSRS.com Vacuum References TABLE OF CONTENTS VACUUM TECHNOLOGY BOOKS 2 RESIDUAL GAS ANALYSIS 2 APPLICATIONS OF RESIDUAL GAS ANALYZERS TO PROCESS/QUALITY CONTROL 4 SPECIALIZED/UNUSUAL APPLICATIONS OF RGAS 7 HIGH PRESSURE SAMPLING/ DIFFERENTIAL PUMPING 9 QUANTITATIVE MEASUREMENTS WITH RESIDUAL GAS ANALYZERS 10 MULTIPLE LINEAR REGRESSION ANALYSIS ALGORITHMS 11 VACUUM SYSTEM DESIGN 11 VACUUM SYSTEM CONTAMINATION 16 VACUUM PUMPS 18 TOTAL PRESSURE MEASUREMENT 22 BAYARD-ALPERT IONIZATION GAUGES 24 PIRANI/THERMOCOUPLE GAUGES 27 PRESSURE CALIBRATION/SPINNING ROTOR GAUGE 27 TEMPERATURE PROGRAMMED DESORPTION 29 MEMBRANE INTRODUCTION MASS SPECTROMETRY (MIMS) 31 VARIABLE LEAK VALVES 31 VACUUM AND PROCESS CONTROL PUBLICATIONS 31 VACUUM AND PROCESS CONTROL WEBSITES 32 Stanford Research Systems Phone: (408) 744-9040 www.thinkSRS.com Vacuum Technology Books 1. J. M. Lafferty , editor, “Foundations of Vacuum Science and Technology”, John Wiley and Sons, Inc., NY, 1998. Note: A great book that every vacuum practitioner should own. 2. J. H. Leck, “Total and Partial Pressure Measurement in Vacuum Systems”, Blackie, GlasgowLondon, 1989. Note: Another classic. Great chapters on gauging. 3. Armand Berman, “Total Pressure Measurements in Vacuum Technology”, Academic Press, Orlando, FL, 1985 4. J. F. O’Hanlon, “A user’s guide to Vacuum Technology”, 2nd . Ed. , Wiley, NY, 1989. 5. Gerhard Lewin, “An Elementary Introduction to Vacuum Technique”, AVS Monograp