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2015-10-09 发布于河南
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Simulation of Vacuum evacuation Copyright 2002-2011 PEGASUS Software Inc., All rights reserved. 156 Purpose of the simulation ： There are 9 chambers. When outlet boundary(specified pressure) exists in one chamber of the chambers, simulates the time dependent pressure in each chamber. Initial pressure ：5 Pa Pressure on outlet boundary ：10－4 Pa Gas species ：Nitrogen Copyright 2002-2011 PEGASUS Software Inc., All rights reserved. 157 Monitor cells （center of each chamber）No ：1～9 Unit ：cm 4 4 Domain ： 1 2 3 38 ×10 ×38 4 Mesh width ： 1 ×1 ×1 4 5 6 4 9 7 8 The pressure of bottom surface is fixed as 10-4Pa Copyright 2002-2011 PEGASUS Software Inc., All rights reserved. 158 3 Size of chamber ：10 ×10 ×10 [cm ] Sizes of flow route ： Chamber no. 1→4 →7、2→5 →8、3→6 →9 3 4 ×4 ×4 [cm ] Chamber no. 1→2 →3、4→5 →6、7→8 →9 3 4 ×2 ×2 [cm ] Gas species ：Nitrogen Initial pressure ：5 Pa Copyright 2002-2011 PEGASUS Software Inc., All rights reserved. 159 Time history of no. of sample particles (step, time) Copyright 2002-2011 PEGASUS Software Inc., All rights reserved. 160 Time history of monitor cells Copyright 2002-2011 PEGASUS Software Inc., All rights reserved. 161 Pressure distribution(x-z cross section