湿化学方法制备Sb2S3玻璃薄膜.pdf

第29卷专辑I 武汉理工大学学报 V01．29 Suppl．I WUHANUNIVERSITYOF 2007年5月 JOURNALOF TEC]tlNODOGY May．2007 湿化学方法制备Sb2S3玻璃薄膜 徐键，王公平，董建峰，沈祥 (宁波大学信息科学与工程学院，宁波315211) 摘要：sb2s3薄膜在非线性光学和太阳能电池方面具有重要的应用。以SbCl3为原料，用湿化学方法制备了Sb2％薄 膜。用XRD、DSC、FrIR和XPS等对薄膜进行了结构表征，甩椭圆偏振仪测试了薄膜的折射率。研究结果表明：所得薄 o． 膜为非晶态，其析晶温度约250℃，折射率约2．98，薄膜组成计量接近Sb2S 关键词：玻璃薄膜； 硫化锑薄膜； 湿化学制备 ． 171 中图分类号：TQ 文献标志码：A SulfideGlassFilms aWet-chemicalProcess Antimony Preparedby XU Jian，WANG Gong-ping，DONGJian-feng，SHEN Xiang ofInformation (College ScienceEngineering，Ningbo315211，China) University，Ningbo filmson Abstract： substrateswere viawetchemical aSthe Antimonysulphide prepared processing。usingSbCl3 precursor． Filmswerecharacterizedwith totheir and meail$of and respect crystallizationcompositionby XRD，DSC，丌IRXPS．Ellip— wasusedtomeasurerefractiveindexofthefilms．Theresultsindicatedthat sulfidefilmswithrefractivein— sornetry amorphous dexno_flY2．98andthe closeto been of compositionstoichiometry obtained；the temperature Sb2％have crystallizatio