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2015-09-30 发布于重庆
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一种可实现薄膜厚度在线测量的方法

323 Vol. 32 No. 3 2 0 0 7 5 OPTICAL TECHNIQUE May 2007 :2007) 一种可实现薄膜厚度在线测量的方法 1 2 1 1 宋敏 , 郑亚茹 , 卢永军, 曲艳玲 ( 1. , 11 00; (2. , 11 029) : , , : 10~ 100m , 10% , : ; ; : O439 : A An optical method of online measurement f or the thickness of thin films 1 2 1 1 SONG Min , ZHENG Yaru , LU Yongjun , QU Yanling ( 1. Inst itute of Optoelectronic Technology, Dalian Nationality University , Dalian 11 00, China) (2. Department of Physics, Liaoning Normal University , Dalian 11 029, China) Abstract: An optical method was introduced for measuring the thickness of solid thin films. This method is of high mea suring speed, noncontact and online work. An experimental system w as constructed for online measurement of the thickness of thin film. The experimental results show that the measuring error is lower than 10% in t he range of 10~ 100m, which fit the production need. Key words : optical method; thickness of thin film; online measurement 0 [3,5] , [4,7] , , , , , [ 5, ] , , 10 ~ 100m, 1 , , 1