TFTLCD玻璃基板材料性能与生产特点.pdfVIP

透 视 INSIGHT TFT-LCD玻璃基板材料 性能与生产特点 ■ 文/陆 丹 徐 刚 中国电子工程设计院世源科技工程有限公司 薄膜晶体管液晶显示器（Thin- 面板的关键材料，约占液晶面板生产 图 1为TFT-LCD面板剖面示意图， film transistor liquid crystal 成本的6%左右，液晶面板的世代就是 图 中“阵 列 玻 璃（TFT-LCD-Array display，TFT-LCD）的兴起为TFT- 以玻璃基板的尺寸大小进行划分的。 Substrate）”和“彩色滤光片（Color LCD玻璃提供了巨大的市场需求。作 为TFT-LCD的消费大国，中国也正 在成为TFT-LCD显示器件的生产大 国，在此背景下，国内TFT-LCD玻璃 生产设施的建设也将成为必然。因此， 及时分析TFT-LCD玻璃生产的工艺 特点，研究TFT-LCD玻璃生产设施 的规划原则和设计要点，对于推动国 内TFT-LCD玻璃生产设施的建设十 分必要。 一、TFT-LCD玻璃基板简介 TFT-LCD玻璃基板是制造液晶 图1 TFT-LCD面板剖面示意图 64 Advanced Materials Industry INSIGHT 透 视 Filter Substrate）”所示即为TFT- ②基板玻璃具有较高的化学稳 设计，使玻璃基板具有尽量低的密度 LCD玻璃基板，每块面板包含前后2 定性。由于基板玻璃需经大量试剂 和尽量高的弹性模量。 块玻璃基板。 清洗和蚀刻，为避免玻璃成分析出， TFT-LCD玻璃基板的性能必须 基板玻璃必须具有高的化学稳定 二、典型TFT-LCD玻璃基板 满足液晶面板制造要求，因此玻璃基 性，具有强的耐含氢氟酸等强酸试 成分及性能 板的工艺制程需满足一些要求： 剂的性能。 为了生产满足上述要求的玻璃基板， ①玻璃不含碱金属氧化物。在 ③基板玻璃具有较高的热稳定 业内人士进行了大量的研究。以美国康宁 制备过程中，液晶显示面板需要经受 性。基板玻璃应具有高的耐热性，其 公司为代表的业者开发出用于TFT-LCD 热处理和化学处理，如果玻璃含有氧 应变点（粘度为1014.5泊的温度）应 的无碱硼硅酸盐玻璃（成分详见表1），各 化锂（LiO）、氧化钠（NaO）、氧化钾 高于650℃。 项性能指标均居行业领先水平。 2 2 （KO）等碱金属氧化物，在热处理过 ④玻璃基板具有较低的密度和较 美国康宁公司典型的TFT-LCD玻 2 程中碱金属离子扩散进入沉积半导体 高的弹性模量。随着玻璃基板尺寸的 璃基板——EAGLE XGTM系列玻璃基板， 材料，会损害膜特性，因此，玻璃应不 不断增大，玻璃的重量问题就显得日 是该行业的代表产品，现以此为例，分析