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磁制冷材料表面保护膜附着特性研究
第 34 卷 第 6期 表 面 技 术 Vol. 34 NO. 6 2005年 12 月 SURFACE TECHNOLO GY D ec. 2005 磁制冷材料表面保护膜附着性能的研究 郑小秋 ,吴卫 ,杨勇 (西华大学材料学院 , 四川 成都 6 10039) ( ) [摘 要 ] 利用直流磁控溅射技术在 Gd 基体上分别镀不锈钢和 Ti 。用扫描电镜 SEM 、能谱仪 、XPS对薄膜表 征 ,用引拉法测定了薄膜的附着强度 。结果表明:采用溅射法在 Gd 基体上镀膜表面质量好 ,膜基界面结合 良好 , 附着强度 ( ) 大 15M Pa 。 [关键词 ] 磁控溅射 ; 附着性 ;界面 ;磁制冷材料 [中图分类号 ] TG174. 71; TB64 [文献标识码 ]A [文章编号 ] 100 1 - 3660 (2005) 06 - 0019 - 03 Study on the A dhesion Property of Surface Protective F ilm s on the M agnetic Refr igeran t M a ter ia ls ZH EN G X ia oq iu , WU W e i, YAN G Yon g (D ep artm en t of M aterial Science and Engineering, X ihua U n iversity, Chengdu 6 10039 , Ch ina) [ A b stract] Gd sub strate s were d ifferen tly coated w ith Ti and 1Cr18N i9Ti by m ean s of DC m agnetron spu ttering techno logy. The characteristic s of the film s have been inve stigated by scann ing electron m icro scop y ( SEM ) , ED S, X ray p hotoelectron sp ectro scop y (XPS) , and the adhe sion of film s were te sted by ten sion te st. The re su lts show that the su rface s of film s are smooth and p erfect, the in terference s between Gd and film s jo in together strongly, and the adhe sion strength is larger than 15M Pa in the se te sts. [ Key words] M agnetron sp u ttering; A dhe sion; In terference; M agnetic refrigeran t m aterials 0 引 言
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