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亚波长衍射微透镜的设计
33 1 Vol . 33 No. 1 2004 1 ACTA PHOTONICA SINICA J anuary 2004 * 刘玉玲 卢振武 任智斌 李凤有 曹召 孙 强 ( 130022) 设计了连续浮雕衍射微透镜和与其等效的二元亚波长衍射微透镜 采用旋转体时域有限 差分法对通过计算机辅助设计出的元件进行了严格的矢量分析 给出了各元件在焦平面的场强分 布1 分析结果表明 本文设计的二元亚波长微透镜对连续浮雕微透镜有很好的等效效果; 填充因子 的脉冲宽度调制法要优于填充因子的线性近似法; 制作相对误差不大时深度误差和宽度误差对微 透镜聚光能力的影响不大1 亚波长; 衍射; 微透镜; 时域有限差分法 O43611 A 0 1 1 [ 1] 1 1 1 f Fresnel K [ 2] [ 5] 1 (r) = 2PL + ( 2Pf / K) @ [ 1- 1+ ( r/f ) 2] ( 1) [ 3] L 1 [ 4] 1 Fresnel ( ) 1 [ 6] ( r) K h ( r) = $n 2P ( 2) ( r) ( 1) ; $n ; K1 ( 2) Fresnel 1 1
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