超精密系统中主被动隔振技术的应用和隔振性能测试分析.pdfVIP

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2015-09-24 发布于安徽
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超精密系统中主被动隔振技术的应用和隔振性能测试分析.pdf

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超精密系统中主被动隔振技术的应用及隔振性能测试分析徐登峰（， !% ）清华大学精密仪器与机械学系制造工程研究所北京：，，摘要首先简述了隔振原理及隔振器的分类在此基础上介绍了选用隔振器的基本原则并介绍了世界上，。几款优秀的隔振器最后对一款日本明立精机主动隔振平台的隔振效果进行了测试与分析：关键词被动隔振主动隔振隔振器平台 !#$%’$() (* +(,$’$-. )/ 0.1’$-. 2$34’$() 5,(#’$() 6.%7)(#(18 $) 9#’4 ’ 4.%$,$() :8,’.; )/ 5’, +.4*(4;)%. !)#8,$, () *+,-.+,- （/,012131+ 4. 56,3.671382,- 9,-2,++82,- ，*+:1; 4. 8+72024, /,0183=+,1 6, 567?2,+8@ ， A02,-?36 ),2B+8021@ ，C+2D2,- !% ，EFG ）、、/E ， !H ! 。在超精密加工检测制造及光学工程中环境图中曲线为系统对于地面振动的响应曲线不可避免会给设备带来了振动，。影响设备的正常工作， I ， ’ 可以看出当激振频率大于 !# 时系统的响应就 ! 采用隔振设备对来自大地的振动和设备负载的扰动进小于输入’ 。， ! 所以只要被动隔振器固有频率小于，行有效隔离或衰减非常必要而且主被动隔振技术混 J KK ，。 !( 就能实现隔振的目的合使用更能满足高精度设备对低频和中高频振动隔振 ) 系统传递率可以表示为的需求。本文将介绍隔振技术的基本原理和隔振器的 I ! * （I!( % !# ）， ) $ （I ）基本分类并结合典型的高性能隔振系统介绍其实际 I I I I