全固态激光器脉宽测试技术研究.pdf

第 3O卷第 5期 应 用 激 光 Vo1．3O。NO．5 2010年 1O月 APPLlED LAsER October2010 全固态激光器脉宽测试技术研究 吴鸯 。，潘涌 ，于航 。 (上海市激光技术研究所 ，上海 200233；上海市激光束精细加工重点实验室 ，上海 200233) 提要 介绍 了一种采用高响应频率的探测器和数字存储示波器组成 的全固态激光脉宽的测试系统，探讨 了脉宽和脉冲重复 频率的测试方法 ，具有灵敏度高、读数方便准确、波形可存储和数据处理方便等优点，满足纳秒级高重复频率全 固态激光器件 的频率、脉宽实时测量的需求 。 关键词 全固态激光器 ；光电探测器 ；数字示波器 ；脉宽 ；测试 doi：10．3788／A0421 Solid。stateLaserPulseTestingTechnology W uYang “．PanYong～．YuHang ’ (ShanghaiInstituteofLaserTechnology，Shanghai200233，China； ShanghaiKeyLaboratoryofLaserBeamMicro—Processing，Shanghai200233，China) Abstract Thispaperintroducesatestingsystem comprisingahighfrequencyrespondingdetectorandadigitalstorageoscillo scopetOmeasurepulsewidthandpulserepetitionfrequencyofsolid—statelasers．Thissystem hashighsensitivity，easyandae curatereadings．waveformscanbestoredanddataprocessingadvantagesofconvenience，tOmeettheneedsofreal—timemeas urementofhighrepetitionratenanosecondsolid—statelaserdevicesfrequencyandpulsewidth． Keywords allsolid—statelasers；photoelectricdetector；digitaloscilloscope；pulsewidth；testing O 引言 对探测元件响应速度 的要求越来越高，具有快响应 全固态激光器因具有效率高、性能可靠、结构紧 和高灵敏度特点的光电元件得到迅速发展。为观测 凑、寿命长等优点 ，在工业、科研、军事等领域发挥着 光脉冲的波形 ，最便捷 的方法是用光电探测器作为 越来越大的作用 ，近年来，由于大功率半导体激光器 传感器元件并用示波器记录光波形。为了不失真地 迅速发展，促成全固态激光器的研发工作得以卓有 测量纳秒激光脉冲波形，要求示波器的频带足够宽， 成效地展开，并取得 了许多成果。 另外，还要求光 电元件 的负载 电阻必须与连接示波 激光材料加工 ，特别是激光精细加工，采用全固 器的电缆阻抗相匹配 。 态激光器作为光源已成为激光加工设备的趋势和主 本文选用美国Thorlabs公司的DET10A作光 流方向。利用激光脉冲进行打孔获得了比较普遍的 电探测器 ，采用美国泰克 TDS3O32C数字荧光存储 运用，由于激光脉冲波形对 打孔质量有重要影 示波器对探测信号进行采集和处理。TDS3032C数 响_1。，有必要对激光脉冲波形进行测量与分析。本