射频磁控溅射法在玻璃上制备紫外吸收和透明导电双功能薄膜.pdfVIP

下载本文档

8
0
约1.82万字
约 6页
2015-09-24 发布于湖北
举报
版权申诉

射频磁控溅射法在玻璃上制备紫外吸收和透明导电双功能薄膜.pdf

1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

射频磁控溅射法在玻璃上制备紫外吸收和透明导电双功能薄膜.pdf

第34卷第10期硅酸盐学报 V01．34，No．10 2006年10月 OFTHECHINESECERAMICSOCIETY October，2006 JOURNAL 射频磁控溅射法在玻璃上制备紫外吸收和透明导电双功能薄膜倪佳苗，赵青南，王鹏，赵修建 (武汉理工大学，硅酸盐材料工程教育部重点实验室，武汉430070) n·cm之间。该双层镀膜玻璃具有截止紫外线和透明导电双功 75％)性能外，还具有导电性，方块电阻在80～90例口之问，电阻率在(3．2～3．6)×10—3 能。关键词：铈钛混合氧化物／掺锑氧化锡薄膜紫外线截止／透明导电玻璃；射频磁控溅射中图分类号：0484文献标识码：A 文章编号：0454_5648之006(10卜1182_05 DoUBLEFUNCTIoNALFILMSWITHUVABSoRPTIoNANDTRANSPARENTCoNDUCTIoN DEPoSITEDoNGLASSBY MAGNETRoNSPUTTERING RADIo‘FREQUENCY NIJ1cImin0．ZHAo Qjngnan，珊ANGPeng，ZHAoXi匈{an MaterialsScience锄d ofEducation，wuhan ofMinistry (KeyLabomto巧ofSilicate Engineering 430070．China) aseriesof withdifreremmolarratiosof to were Ce02-Ti02 Ce02Ti02 Abstract：Sn02：Sb(6％，inmole)t哪et，aIld ta唱etS pr印ared． these filmsand filmswere onsoda—limesubstratesradio6．e— Byusing targets，Ce02一Ti02Ce02』n02／Sn02：Sbdeposited glass by nlmswerecharacteriZed transmission quencyma印etronsputtering．TheCe02—Ti02 byultraviolet(uV)一Visible and di箭action．Theresultsshowthatthestmctureofthe spectmscopy，X-rayphotoelectronspectroscopyx—ray Ce02一Ti02films， a11dO．6：O．4 has deposited、viththe珂(Ce02)：盯(Ti02)=O．5：O．5ta唱e虹，appears锄。印housphases，andhi曲uV visible