压力传感器零点漂移的解决方法浅析.pdf

ScienceTechnologyVision 科技视界 压力传感器零点漂移的解决方法浅析 曾钟波 (平和县质量计量检测所 福建平和袁 363700) 摘 要 压力变送器在工业现场是重要的检测传送装置 而基于扩散硅的压力传感器由于自身的精度高 灵敏度高 稳定性好 线性度优 揖 铱 袁 尧 尧 尧 良 反应迅速 迟滞性小等特性优势 以及价格低廉等市场优势 使其在近 年中得以快速发展 并广泛应用于工业冶金 航空航天等众多领 尧 尧 袁 袁 30 袁 尧 域 目前多数压力变送器的研发者倾向于利用压阻式扩散硅压力传感器作为信号的传送环节但是由于技术等多方面限制 压阻式压力传感器 遥 遥 袁 易受现场温度变化的影响 从而产生零点漂移 而多数的制造厂商不能生产没有零点漂移的传感器 这就需要我们对压力传感器的零点漂移进 袁 遥 袁 行研究及温度补偿遥 关键词 压力变送器 扩散硅压力传感器 零点漂移 补偿方法 揖 铱 曰 曰 曰 温度范围内零点输出占满量程输出的比例 百分数 或最大温度零点 员 绪论 渊依 冤 系数 即零点输出温度变化的最大斜率 一般该系数取值不能超过传 渊 冤袁 1.1 变送器发展现状 感器精度值遥 变送器作为重要的基础自动化仪表被广泛应用于工业现场的传 2.3.2 零点热漂移产生原因的半导体理论分析 送与检测过程 回顾变送器的发展历程 大致经历了以下几个阶段 遥 袁 院 只有当电阻的掺杂浓度和阻值一致时才能使电桥的零点输出电, 起初生产的变送器工作原理是大位移 这一时期的变送器的精确 渊1冤 袁 压小零点热漂移也小 这对提高传感器的性能十分有利 但是扩散时, 遥 遥 度很低 而且重量较大 进入上世纪 年代产生了基于力平衡的 袁 遥渊2冤 50 掺杂分布不易做到均匀 因此要求压敏电阻条越接近越好越短越好, , 遥 差压变送器 这种变送器比大位移式变送器精确度要高 但是存在易 袁 袁 2.3.3 零点热漂移产生原因的电路分析 受现场干扰等技术缺点遥渊3冤第三个阶段出现的变送器其特点是采用 理想的情况下 组成惠斯通电桥的四个扩散电阻的阻值应该是相袁 新型的材料 比之上几代的变送器精确度得到了改善 到了 世 袁 遥 渊4冤 20 等的 零