用于阵列波导光栅（AWG）的材料及其特性分析.pdfVIP

维普资讯 光 电 于 技 术 与 信 息 OptoelectronicTechnology＆Information 2002Aug；15(4) 综 述 文献编号： 1006—1231(2002)04—0001—05 用于阵列波导光栅 (AWG)的材料及其特性分析 张小康 -廖常俊 。刘颂豪 (1华南理工大学应用物理系 广州 510640) (2华南师范大学量电所 广州 51063i) 摘 要 AWG器件是 目前光通信元器件中重要的研究课题，而材料是决定 AWG 性能的基础．本文主要分析 了硅基材料、聚合物和磷化铟基等材料在 AWG制作技术中的材料特性与应用特点，同时展示了 AWG在光通信 领域中的应用前景． 关键词 阵列波导光栅 (AWG)，硅基材料，聚合物，磷化铟基材料 中 图分 类 号：TN816 文献 标 识 码：A The．MaterialsUsedinMakingAW GandStudyonTheirProperties ZhangXiaokang LiaoChangjHn LiuSonghao (1Depm’tmentofAppliedPhysicsSouthChinaUniversityofTechnology Guangzhou 510640) (?TheResearchInstituteofQuantumElectronics，SouthChinaNormalUniversity Guangzhou 510631) Abstract AW G ispresentlyoneoftheimportantresearchworksinopticalcomponentsfortelecom and datacom application．However，thematerialsarethebasesindetermining theperformance ofthecomponents．Thepropertiesofsomematerialsused inmakingAW G，including Si—based materials，polymers，andInP—basedmaterialsarediscussedinthispaper．TheprospectsofAW G usedinopticalcommunicationarealsorevealed． Keywords arrayedwaveguidegrating(AWG)，Si—basedmaterials，polymers，InP—based 111at ，；a1S 1 引 ．L．口 提出来的，它的应用价值很快引起了NTT和 Bell等 实验室的关注。当时，Smit是在硅基上用Al2O3作导 阵列波导光栅 (Arla·yedWaveguideGrating 波层 [。由于此前人们已了解硅基上 SiO2一GeO2、 AWG )是一种多路干涉器，它具有信道数大、通带响 SiO2一B2O3和 SiO2一TiO2等薄膜的淀积特性，用掺锗 应平坦、信道间隔和带宽可改变等优点，在光通信网 的SiO2作导波层的AWG 的制作水平得到了快速发 络中得到了越来越广泛的应用。用 AWG已构成波分 展，器件性能得到了快速提高。而决定 AWG工作性 复用 ／解复用器、N×N波长路由器、网络结点中的分 能的是制作材料和器件结构，其中材料是基础，器件 插复用器、滤波器等器件。AWG本身的研制与发展 性能的改进显然受到材料的制约。因此，人们不断寻 已成为 目前光通信元器件前沿科学技术的重要课题。 找其它材料来改进AWG ，拓宽其应用范围。随着波 AWG的概