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基于微小电流过采样的激光光栅测试系统.pdf
2012年 仪表技术与传感器 2012 第8期 Instmment 彻d sensor No．8 Technique 基于微小电流过采样的激光光栅测试系统 黎步银，黄龙，张平川 (华中科技大学电子科学与技术系，湖北武汉430074) 摘要：激光光栅的质量检测是光栅生产应用中的关键环节。该测试系统设计了高精度微小电流采样电路，采用过采 样技术用AVR芯片内部10位ADc实现13位采样精度，采用窗口滤波、平均滤波进行进一步数据处理。系统提升光栅透 光率的测量相对误差至5‰以内，0级与l级光斑光强比测量相对误差至l％以内，实现了高精度激光光栅测试。 关键词：激光光栅；质量检测；微小电流；过采样；窗口滤波 中图分类号：7rP216 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2010)08—0035—04 Laser Test B嬲edon High·precisionG髓tingSystem LittleCurrentand OVers锄pling ⅡBu—yin，HUANGLong，ZHANGPing—chuan Sd咖e蛆d (H岫疝ongUniVersi够of Technolo野，Wuh柚430074，Chi鹏) Ab蚰mct：，111etestofl鹳er isthe intlIe of test qIl幽ty grating key production粕d印plicationgmting．The8ysteIndesi印ed limecuⅡent circuit．It toachieve13．bit witha 10-bitADcin- h沙-preci8ion s枷pling adop涮overs锄plingtechniqlle s锄pling sideAVR usedwindow and for胁herdata theIelativeenDrof MCU，aIld filteringaver{lgefiltering pmcessing．7I’hesystemiⅡlproves tolesstllan themtiooftlle 1 to 0tolessthaIl testfor 5‰，a11d gmting’s咖smittallce gradegrade 1％，implementshig}I·precision 1aser gmting． words：l船er te8t；lime Key grating；qualitycurrent；overs锄pling；willdowfiltering O引言 系统由5个主要部分组成：光源、光电探测器组、微小电流采 激光光栅在现代技术中有着广泛的应用，光栅的质量检测 样模块、』wR核心系统、人机接口，图1中虚线框表示1个模块。 在光栅生产应用中至关重要…。目前，国内专门用于检测光栅 系统采用恒流源驱动点状光斑激光器提供测试光源，激光透过光 质量的仪器少，针对生产应用厂家的实际需求，研制了激光光 栅形成衍射光斑，通过光电探测器将衍射光
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