线形同轴耦合式微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜.pdfVIP

维普资讯 第 33卷 第3期 人 工 晶 体 学 报 Vo1．33 No．3 2OO4年6月 J0URNAL OF rI1删 C CRYsI1AIS June． 线形同轴耦合式微波等离子体 CVD法 制备金刚石薄膜 杨志威，陈立民，耿春雷，唐伟忠，吕反修，苗晋琦，赵中琴 、 (北京科技大学材料科学与工程学院，北京 100083) 摘要：线形同轴耦合式微波等离子体 CVD装置是一种利用微波天线产生轴向分布的等离子体柱的新型微波等离子 体 CVD装置。由于它产生的等离子体是沿微波天线分布的，因而可避免石英管式、石英钟罩式以及不锈钢谐振腔 式微波等离子体 CVD装置中等离子体的分布容易受到金属工件位置干扰的缺点。本文将首先讨论线形同轴耦合 式微波等离子体CVD装置的工作原理，其后介绍利用此装置进行的金刚石薄膜沉积实验的初步结果。实验结果表 明，利用线形同轴耦合式微波等离子体CVD装置，可在金属衬底上沉积出质量较好的金刚石薄膜。 关键词：线形同轴耦合；微波等离子体；CVD；金刚石薄膜 中图分类号：O484．1 文献标识码：A 文章编号：1000-985X(2004)03-0432-04 DiamondCoatingsDepositionUsingtheLinearlyCoaxiallyCoupled M icrowavePlasmaCvD Device YANGZhi—wei，CHENLi-min，GENGChun-lei，TANGWei—zhong， LUFan—xiu，MIAO~n-qi，ZHAOZhong-qin (School0fMaterialsScienceandEngineering，University0fScienceand ：cImol0 ~ijing，Bcij~ 100083，China) (Retx6tcd13October2O03) Abstract：ThelinearlycoaxiallycoupledmicrowaveplasmaCVDdeviceisaIl microwaveplasmaCVDdevice b,4nginganaxialextendde plasmacylinderthroughamicrowaveantenna．Asthe extendsalongthe microwaveantenna，itsdistribution isnotaffectde bythemetalworkpiece location．However，theplasma distributioniseasilyaffectde byitinsomeohtermicrowaveplasmaCVD devicessuchasquartztubetype， quartzbell—jartypeandstainlesssteelresonantchambertype．Thepaperwillfwstdiscusshteoperating principleofhtelinearlycoaxiallycoupled microwaveplasmaCVD device nad hten introducehtediamond coatingdepositionexperimentusinghtedevice．Theexperimentalresultsshowhtehihger-qualitydiamond coatingcanbe depositde onhtemetalworkp